[實用新型]洗滌塔進氣結構有效
| 申請號： | 200820155355.8 | 申請日： | 2008-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN201320446Y | 公開（公告）日： | 2009-10-07 |
| 發明（設計）人： | 張衛民;徐皓;施訓志 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/78 | 分類號： | B01D53/78;B01D53/18 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 洗滌 塔進氣 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種洗滌塔進氣結構，包括進氣閥和旁路閥，其中進氣閥控制廢氣至洗滌塔反應室的支路，旁路閥控制廢氣至其他洗滌塔的支路，其特征是，所述進氣閥為常開閥，且所述旁路閥為常閉閥。
2.根據權利要求1所述的洗滌塔進氣結構，其特征是，其中所述進氣閥與旁路閥的狀態改變受控于同一電磁閥。
3.根據權利要求2所述的洗滌塔進氣結構，其特征是，其中所述進氣閥與旁路閥為氣動閥，且狀態改變受控于同一路干燥壓縮空氣，且所述干燥壓縮空氣受控于所述電磁閥。
4.一種洗滌塔進氣結構，包括進氣閥和旁路閥，其中進氣閥控制廢氣至洗滌塔反應室的支路，旁路閥控制廢氣至其他洗滌塔的支路，其特征是，所述進氣閥為常閉閥，且所述旁路閥為常開閥。
5.根據權利要求4所述的洗滌塔進氣結構，其特征是，其中所述進氣閥與旁路閥的狀態改變受控于同一電磁閥。
6.根據權利要求5所述的洗滌塔進氣結構，其特征是，其中所述進氣閥與旁路閥為氣動閥，且狀態改變受控于同一路干燥壓縮空氣，且所述干燥壓縮空氣受控于所述電磁閥。
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