[實(shí)用新型]晶圓輸送盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820155227.3
• 申請(qǐng)日: 2008-11-11
• 公開（公告）號(hào): CN201298544Y
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫明;趙俊深;呂秋玲;楊洪春;楊斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈 蘅;李時(shí)云

1.一種晶圓輸送盒，包括盒體，所述盒體的側(cè)面具有開口，其特征在于：所述盒體的頂部設(shè)有支架，所述晶圓輸送盒還包括至少一檔板，所述擋板連接至所述支架并覆蓋在所述盒體側(cè)面的開口上。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓輸送盒，其特征在于：所述支架上設(shè)有若干夾持片。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓輸送盒，其特征在于：所述擋板由依次連接的擋板面、引導(dǎo)面以及折彎部構(gòu)成，所述引導(dǎo)面和折彎部對(duì)應(yīng)所述支架的夾持片設(shè)有等數(shù)量的夾槽，所述夾槽與所述夾持片相互夾持。

4.如權(quán)利要求3所述的晶圓輸送盒，其特征在于：所述擋板面和所述引導(dǎo)面之間形成的夾角與所述上蓋和所述盒體的開口截面形成的夾角相一致。