[實用新型]化學品供應泵的泄漏檢測系統

有效

• 申請號: 200820154498.7
• 申請日: 2008-10-27
• 公開（公告）號: CN201322679Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 朱飚
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01M3/38
• 分類號: G01M3/38
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種檢測系統，特別是涉及一種化學品供應泵的泄漏檢測系統。

背景技術

在半導體等工業領域里，常常需要大量使用化學物品，因而需要用到許多化學品供應泵來提供化學品，然而，大多數化學物質具有腐蝕性或者毒性，并且易燃易爆，在實際的生產活動中，由于人為操作失誤或者設備老化等原因，難免會引起化學品泄漏的潛在可能性，如果不能及時發現或者監測到泄漏情況，后果將不堪設想，因此，檢測在工業使用上的化學物質是否泄漏顯得尤其重要，目前已經開發有許多基于傳感器的用于檢測化學品供應泵內化學物質是否泄漏的檢測系統，但這類用于檢測泵內化學品泄漏的傳感器都為精密的電子產品，結構復雜，不能與化學品直接接觸，通常都是通過間接方式對化學品進行監測，一旦泵內出現泄漏時難以直接快速發現問題。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種化學品供應泵的泄漏檢測系統，該泄漏檢測系統可直接與待檢測的化學品接觸，從而可快速檢測出泄漏的化學品。

為解決以上技術問題，本實用新型提供一種化學品供應泵的泄漏檢測系統，包括主體、光電轉換器和連接在所述主體上的光纖固定架，所述光電轉換器上的光發射極連接有第一光纖，所述光電轉換器上的光接收極連接有第二光纖，所述主體設有連接所述化學品供應泵的通道，所述通道內設有可在所述通道內運動的浮動體；所述第一光纖的另一端和所述第二光纖的另一端對稱設置在所述光纖固定架上。

所述光電轉換器上還連接有一輸出系統，所述輸出系統為一監控器或者警示系統。

所述光電轉換器上還連接有為所述光電轉換器供電的電源單元。

所述主體以可拆卸方式固定在所述化學品供應泵本體上。

所述主體和所述浮動體材質采用耐腐蝕材料制成。

與現有技術相比，本實用新型的供應泵泄漏的檢測系統，通過在主體上設置有放置浮動體的通道和光纖，使得當泄漏發生時，浮動體阻擋光發射而使信號發生變化，從而能快速方便地檢測到化學品的泄漏，結構簡單，使用方便，同時無需復雜的檢測設備，降低成本，可廣泛應用在各種溶劑性化學品和非溶劑性化學品供應泵上?？蓮V泛應用在各種具有防爆要求的溶劑性化學品和非溶劑性的化學品供應泵上。

附圖說明

圖1為本實用新型的系統示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的技術特征更明顯易懂，下面結合附圖與實施例，對本實用新型做進一步的描述。

請參閱圖1所示，一種化學品供應泵的泄漏檢測系統，包括主體1和光電轉換器3和連接在所述主體1上的光纖固定架6，所述主體1和所述光電轉換器3之間設有一光纖組2，所述光電轉換器3內設有光發射極(未標示)和光接收極(未標示)，所述光發射極為紅外線發射極，所述光電轉換器3的作用就是將紅外線光信號轉換為電信號輸出給外部的輸出系統8，所述輸出系統8為一監控器或者警示系統。當光信號被中斷或者阻擋時，所述光電轉換器3輸出高電平，反之則輸出低電平。所述光電轉換器3上的光發射極上連接有第一光纖20，所述光電轉換器3上的光接收極連接有第二光纖21，所述主體1上設有一連接所述化學品供應泵(未標出)的通道4，所述通道4內設有一可在所述通道4內運動的浮動體5，所述浮動體5的大小和形狀可根據放置所述浮動體5的所述通道4的形狀和結構來設計，以便可以在所述通道4內運動。連接在所述主體1上的所述光纖固定架6上對稱設有兩孔(未標示)，所述第一光纖20的另一端和所述第二光纖21的另一端可以任意固定在此兩孔上。

所述光電轉換器3上連接有一電源單元7，所述電源單元7可以對所述光電轉換器3提供電源。

連接在所述主體1上的光纖固定架6可根據需要將其固定在所述通道4上，固定的位置可以調節，為了可以及時檢測到化學泄漏，可以將所述光纖固定架6固定在距離浮動體5比較近的上方位置。

考慮到所述主體1和所述浮動體5接觸到各種腐蝕性化學品，所述主體1和所述浮動體5的材質采用具有耐腐蝕性材質如PFA(可溶性聚四氟乙烯)，PVDF(聚偏氟乙烯膜)，PTFE(聚四氟乙烯)等制成。

進一步地，為了方便使用，根據不同的泵體的結構和形狀，所述主體1可以靈活地以可拆卸的方式固定在所述化學品供應泵相應位置上，從而便于拆裝，本實施例中，可以在所述化學供應泵的下方靠近化學品處鉆有螺紋孔，以螺紋連接的方式將所述主體1固定在所述化學供應泵上。