[實用新型]化學品供應泵的泄漏檢測系統

有效

• 申請號: 200820154498.7
• 申請日: 2008-10-27
• 公開（公告）號: CN201322679Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 朱飚
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01M3/38
• 分類號: G01M3/38
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1.一種化學品供應泵的泄漏檢測系統，包括主體、光電轉換器和連接在所述主體上的光纖固定架，所述光電轉換器上的光發射極連接有第一光纖，所述光電轉換器上的光接收極連接有第二光纖，其特征在于：所述主體設有連接所述化學品供應泵的通道，所述通道內設有可在所述通道內運動的浮動體；所述第一光纖的另一端和所述第二光纖的另一端對稱設置在所述光纖固定架上。

2.如權利要求1所述的一種化學品供應泵的泄漏檢測系統，其特征在于：所述光電轉換器上還連接有一輸出系統，所述輸出系統為一監控器或者警示系統。

3.如權利要求1所述的一種化學品供應泵的泄漏檢測系統，其特征在于：所述光電轉換器上還連接有為所述光電轉換器供電的電源單元。

4.如權利要求1所述的一種化學品供應泵的泄漏檢測系統，其特征在于：所述主體以可拆卸方式固定在所述化學品供應泵上。

5.如權利要求1所述的一種化學品供應泵的泄漏檢測系統，其特征在于：所述主體和所述浮動體采用耐腐蝕材料制成。