[實用新型]電鍍液過濾裝置有效
| 申請號： | 200820154305.8 | 申請日： | 2008-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN201362750Y | 公開（公告）日： | 2009-12-16 |
| 發明（設計）人： | 陳亮 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C25D21/06 | 分類號： | C25D21/06 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電鍍 過濾 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種電鍍液過濾裝置，包括濾筒以及位于濾筒兩端的底座和頂蓋，其中濾筒內設有濾芯以實現對電鍍液的過濾，且頂蓋具有電鍍液出口，該電鍍液出口與一電鍍反應室相通，其特征是，所述頂蓋還具有排氣口，且該排氣口與一排氣通道相通。
2.根據權利要求1所述的電鍍液過濾裝置，其特征是，所述排氣通道上設置有排氣閥。
3.根據權利要求2所述的電鍍液過濾裝置，其特征是，所述排氣通道還包括內部排氣通道和外部排氣管，其中內部排氣通道的一端與所述排氣口相通，另一端通過排氣閥與外部排氣管相通。
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