[實用新型]大幅面光刻膠玻璃板曝光后自動噴淋顯影裝置

無效

• 申請號: 200820153981.3
• 申請日: 2008-10-14
• 公開（公告）號: CN201298143Y
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 姜兆華;張偉
• 申請（專利權）人: 上海市激光技術研究所
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G05B19/04
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司
• 代理人: 吳寶根

技術領域

本實用新型設涉及一種大幅面光刻膠玻璃板曝光后自動噴淋顯影裝置及方法，屬于激光全息制版技術、激光精細加工和精細化工技術領域。

背景技術

全息光刻膠玻璃板顯影是激光全息母版制作過程中一個必己不可少的重要后道工序，顯影工藝技術的好壞將直接影響激光全息母版的質量，從而進一步影響激光全息制品的質量。傳統的全息光刻膠板顯影大都采用人工水平浸液的方法，這種方法適用于約300?x?300mm²以下小幅面的光刻膠玻璃板的顯影，其制作出來的激光全息母版主要用于全息標貼等窄幅激光制品的制作。隨著經濟的快速發展，激光全息技術的應用趨勢也不斷地向高端市場發展，尤其在防偽、包裝和裝飾領域，逐漸從窄幅向技術含量更高、防偽性能更強的無拼縫大幅面(最大約達1?x?1m²)方向發展。由于幅面大，采用傳統水平浸顯的方法邊緣和中心部位會造成較大的浸液時間差值，及人為操作帶來的時間、平穩性等多方面的誤差，從而導致整個版面顯影深度不均勻和重復性差，進而影響全息母版質量。若采用垂直津液的方法顯影，那么對于如此大幅面的光刻膠玻璃板，起始入液點和最終入液點之間會存在較大的時間差，同樣存在著如上所述的問題。

目前印刷行業的ps版顯影采用全自動顯影機，它與全息光刻膠玻璃板顯影在特性上有三大的區別：1.ps板是軟性的材質，它可以通過滾輪作用呈曲面傳送；而全息光刻膠玻璃板是易碎材料，不可彎曲；2.ps板采用潛浸式的顯影方式，其表面可以用毛刷一邊顯影一邊刷洗；而全息光刻膠玻璃板表面不能碰觸；3.ps板顯影時間長，對時間誤差不敏感；而全息光刻膠玻璃板的顯影時間相當短，時間差值對刻槽會產生很大的影響。印刷行業的這種ps版全自動顯影方法和裝置不適合本專利涉及的全息大幅面光刻膠玻璃板的顯影。目前，全息大幅面光刻膠玻璃板的顯影方法和裝置尚無相關的資料報道。

發明內容

本實用新型針對全息大幅面光刻膠玻璃板曝光后的顯影工藝，是要克服人工顯影方法存在的時間、平穩性誤差導致的顯影深度不均勻和重復性差等不足之處和缺陷，提供一種顯影工藝穩定易控制、適合全息大幅面光刻膠玻璃板顯影的裝置及方法。

本實用新型的技術方案是：大幅面光刻膠玻璃板曝光后自動噴淋顯影裝置，包括控制系統、加熱恒溫系統、循環過濾噴淋系統、光刻膠玻璃板自動傳輸系統和風干系統；所述的控制系統用于加熱恒溫系統、循環過濾噴淋系統、自動傳輸系統和風干系統的控制，包括電源總開關、電加熱器電源開關、溫度控制數顯調節儀、自動傳輸系統觸發開關、光電定位開關、磁力泵開關、計時器、渦流風機電源開關；所述的加熱恒溫系統由電加熱器、熱傳感器、溫度控制數顯調節儀、液位探測儀組成，溫度控制數顯調節儀設定顯影溫度，電加熱器加熱循環過濾噴淋系統中的藥液儲放槽，熱傳感器探測頭和第一液位探測儀置于循環過濾噴淋系統中的藥液儲放槽內；所述的循環過濾噴淋系統包括藥液儲放槽、管道、連接到藥液儲放槽的第一磁力泵和連接到清水儲放槽的第二磁力泵、連接第一磁力泵和第二磁力泵輸出口的第一鴨嘴噴淋頭和第二鴨嘴噴淋頭、控制第一磁力泵和第二磁力泵工作時間的第一計時器和第二計時器；所述的光刻膠玻璃板自動傳輸系統包括驅動電機、減速齒輪箱、輥軸、傳輸皮帶和觸發開關，所述的減速齒輪箱輸出軸上置有一輥軸，所述的傳輸皮帶安裝在輥軸上，裝有光刻膠玻璃板托盤置于傳輸皮帶上，所述的驅動電機和控制系統面板上的觸發開關相連接，控制系統啟動驅動電機，驅動傳輸皮帶運動；光電定位開關安裝在顯影裝置的機架上，當測得托盤上的定位信號標志后，傳輸皮帶停止運動；所述的風干系統由渦流風機、風刀組成，風刀由氣管連接到渦流風機上，渦流風機配有空氣過濾凈化裝置。

大幅面光刻膠玻璃板曝光后自動噴淋顯影方法，其步驟為：

1.在控制系統上設定顯影參數：藥液溫度、顯影藥液噴淋時間和清水噴淋沖洗時間；

2.將曝過光的大幅面光刻膠玻璃板置于托盤上，放進送料臺和傳輸皮帶交接處；

3.控制系統控制加熱恒溫系統使藥液溫度達到設定值并保持恒溫；

4.控制系統啟動自動傳輸系統，使傳輸帶勻速傳動，傳輸帶傳動方向與水平面形成10度的傾角，將大幅面光刻膠板送進顯影槽體機架；

5.由控制系統觸發循環過濾噴淋系統，使藥液在管道內快速流動，并從順光刻膠玻璃板傾斜方向組成的兩排多個鴨嘴噴淋頭處噴出，形成前后兩層水幕，開始自動噴淋顯影；計時器同時開始計時，待達到設定值，循環過濾噴淋系統自動停止運轉，結束藥液噴淋；