[實(shí)用新型]大幅面光刻膠玻璃板曝光后自動(dòng)噴淋顯影裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820153981.3
• 申請(qǐng)日: 2008-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN201298143Y
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜兆華;張偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海市激光技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G03F7/30
• 分類號(hào): G03F7/30;G05B19/04
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司
• 代理人: 吳寶根

1.一種大幅面光刻膠玻璃板曝光后自動(dòng)噴淋顯影裝置，包括控制系統(tǒng)、加熱恒溫系統(tǒng)、循環(huán)過濾噴淋系統(tǒng)、光刻膠玻璃板自動(dòng)傳輸系統(tǒng)和風(fēng)干系統(tǒng)；所述的控制系統(tǒng)用于加熱恒溫系統(tǒng)、循環(huán)過濾噴淋系統(tǒng)、自動(dòng)傳輸系統(tǒng)和風(fēng)干系統(tǒng)的控制，包括電源總開關(guān)、電加熱器電源開關(guān)、溫度控制數(shù)顯調(diào)節(jié)儀、自動(dòng)傳輸系統(tǒng)觸發(fā)開關(guān)、光電定位開關(guān)、磁力泵開關(guān)、計(jì)時(shí)器、渦流風(fēng)機(jī)電源開關(guān)；所述的加熱恒溫系統(tǒng)由電加熱器、熱傳感器、溫度控制數(shù)顯調(diào)節(jié)儀、液位探測(cè)儀組成，溫度控制數(shù)顯調(diào)節(jié)儀設(shè)定顯影溫度，電加熱器加熱循環(huán)過濾噴淋系統(tǒng)中的藥液儲(chǔ)放槽，熱傳感器探測(cè)頭和第一液位探測(cè)儀置于循環(huán)過濾噴淋系統(tǒng)中的藥液儲(chǔ)放槽內(nèi)；所述的循環(huán)過濾噴淋系統(tǒng)包括藥液儲(chǔ)放槽、管道、連接到藥液儲(chǔ)放槽的第一磁力泵和連接到去離子水儲(chǔ)放槽的第二磁力泵、連接第一磁力泵和第二磁力泵輸出口的第一鴨嘴噴淋頭和第二鴨嘴噴淋頭、控制第一磁力泵和第二磁力泵工作時(shí)間的第一計(jì)時(shí)器和第二計(jì)時(shí)器；所述的光刻膠玻璃板自動(dòng)傳輸系統(tǒng)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、減速齒輪箱、輥軸、傳輸皮帶和光電定位開關(guān)、送料接物臺(tái)，所述的減速齒輪箱輸出軸上置有一輥軸，所述的傳輸皮帶安裝在輥軸上，送料臺(tái)和接物臺(tái)緊挨著傳輸皮帶，裝有光刻膠玻璃板托盤置于送料臺(tái)和傳輸皮帶交接處，托盤上裝有定位信號(hào)標(biāo)志，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)和控制系統(tǒng)面板上的觸發(fā)開關(guān)相連接，控制系統(tǒng)啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)傳輸皮帶運(yùn)動(dòng)；光電定位開關(guān)安裝在顯影裝置的機(jī)架上，當(dāng)測(cè)得托盤上的定位信號(hào)標(biāo)志后，傳輸皮帶停止運(yùn)動(dòng)；所述的風(fēng)干系統(tǒng)由渦流風(fēng)機(jī)、風(fēng)刀組成，風(fēng)刀由氣管連接到渦流風(fēng)機(jī)上，渦流風(fēng)機(jī)配有空氣過濾凈化裝置。