[實用新型]夾具及其切割裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820151641.7
• 申請日: 2008-08-05
• 公開（公告）號: CN201257682Y
• 公開（公告）日: 2009-06-17
• 發(fā)明（設計）人: 王永華;弓艷霞
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B26D7/02
• 分類號: B26D7/02;B26D1/01
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王 潔

技術領域

本實用新型涉及一種夾具及其切割裝置，具體涉及一種化學機械拋光中應用的支撐膜墊片的夾具及其切割裝置。

背景技術

在化學機械拋光(CMP)設備中，其中研磨頭上包括有支撐膜(MembraneSupport)、需要研磨的硅片以及壓力調整裝置等。硅片被氣體壓力吸附于支撐膜之上，通常為了實現硅片和支撐膜之間的壓力緩沖，會在支撐膜和硅片之間放置一層用于壓力緩沖的支撐膜墊片(Membrane?Support?Pad)。其中支撐膜墊片一般是塑料等材料制成，具有易切割的特點。

如圖1所示，支撐膜1中間有若干圓孔，硅片可以通過圓孔吸附在支撐膜1上。圖2所示為支撐膜墊片2，中間同樣具有若干圓孔。結合圖1和圖2所示，其中支撐膜上面的定位孔12與支撐膜墊片上面的定位孔22形狀和尺寸相同，其位置一一對應。在硅片吸附于支撐膜1之前，需要把支撐膜墊片2通過定位孔對準粘附到支撐膜1上。當前的支撐膜墊片產品中，支撐膜墊片2通過雙層塑料膜粘貼包住，其中支撐膜墊片的圓周邊緣部分由于在粘附安裝之前會受空氣的影響而性能變差，所以支撐膜墊片2的直徑一般制造成比支撐膜1的直徑大。因此，粘附后需要一個對支撐膜墊片2多余圓周部分切割去除的過程。

當前晶圓廠中，主要是在支撐膜墊片粘附于支撐膜以后通過刀片手工切割，效率相對較低，切割后的圓周不平滑，并且可能會對支撐膜造成劃傷。

實用新型內容

本實用新型解決的技術問題是：提供一種快速高效的用于支撐膜墊片切割的夾具及其切割裝置。

本實用新型所提供的一種夾具，用于裝夾粘附在支撐膜上的支撐膜墊片，所述夾具包括第二夾板、置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第一夾板、以及穿通第一夾板和第二夾板的定位柱，第一夾板和第二夾板之間用于裝夾支撐膜墊片。

其中，第一夾板作為壓板，第二夾板作為底板；第二夾板為圓形，其直徑大于所述第一夾板的直徑；所述第一夾板和第二夾板中同時設置有兩個或兩個以上的定位孔，其孔的形狀、大小與位置與支撐膜墊片中的定位孔的形狀、大小與位置相同；定位柱為兩個或者兩個以上，通過定位柱兩端的螺母，對第一夾板和第二夾板進行固定。

根據對本實用新型提供的夾具，本實用新型進一步提供一種用于切割粘附在支撐膜上的支撐膜墊片的切割裝置，所述切割裝置包括：

支撐板；

置于支撐板上第二夾板；

置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第一夾板；

固定于支撐板上，并穿通第一夾板和第二夾板的定位柱；

與支撐板相連接的機械手臂；

以及與機械手臂連接用于切割的刀具。

其中，所述第二夾板為圓形，其直徑大于所述第一夾板的直徑；所述第一夾板和第二夾板中設置有兩個或兩個以上定位孔，其孔的形狀、大小與位置與支撐膜墊片中的定位孔的形狀、大小與位置相同；所述定位柱為兩個或者兩個以上，定位柱一端通過螺紋連接方式固定于支撐板上，另一端通過螺母固定第一夾板和第二夾板于支撐板上；機械手臂的一端與支撐板連接，另一端與刀具連接。

本實用新型的技術效果是：由于第一夾板和第二夾板上的定位孔與支撐膜墊片中的定位孔的形狀與位置相同，夾具中的定位柱可以依次穿通第一夾板、支撐研磨墊和第二夾板，通過支撐柱兩端的螺紋固定，支撐研磨墊裝夾固定于第一夾板和第二夾板之間。沿著第一夾板的圓周對支撐研磨墊進行切割，可以切割出與支撐膜形狀相同的支撐研磨墊。

本實用新型提供的夾具，可以實現對支撐膜墊片的固定裝夾。本實用新型所提供的切割裝置，對固定裝夾后的支撐膜墊片可以切割出與支撐膜形狀相同的支撐研磨墊。切割裝置結構簡單，切割方便，效率高，并且能夠避免切割時的對支撐膜造成劃傷。

附圖說明

圖1為現有技術中的一種支撐膜；

圖2為現有技術中的一種支撐膜墊片；

圖3為本實用新型所提供的一種夾具的具體實施例的示意圖；

圖4為本實用新型所提供具體實施例的夾具的應用示意圖；

圖5為一種切割裝置的具體實施例的示意圖；

圖6為本實用新型所提供具體實施例的切割裝置應用示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面結合附圖對本實用新型作進一步的詳細描述。

具體實施例一