[實用新型]夾具及其切割裝置有效
| 申請號： | 200820151641.7 | 申請日： | 2008-08-05 |
| 公開（公告）號： | CN201257682Y | 公開（公告）日： | 2009-06-17 |
| 發明（設計）人： | 王永華;弓艷霞 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B26D7/02 | 分類號： | B26D7/02;B26D1/01 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王 潔 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 夾具 及其 切割 裝置 | ||
1.一種夾具，用于裝夾粘附在支撐膜上的支撐膜墊片，其特征在于包括第二夾板、置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第一夾板、以及穿通第一夾板和第二夾板的定位柱，第一夾板和第二夾板之間用于裝夾支撐膜墊片。
2.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于所述于第二夾板為圓形，其直徑大于或等于所述第一夾板的直徑。
3.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于所述第一夾板和第二夾板中設有定位孔，其孔的形狀、大小與位置與支撐膜墊片中的定位孔的形狀、大小與位置相同。
4.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于所述定位柱可以通過螺母對第一夾板和第二夾板進行固定。
5.根據權利要求1所述的夾具，其特征在于所述定位柱為兩個或者兩個以上。
6.一種切割裝置，用于切割粘附在支撐膜上的支撐膜墊片，其特征在于包括：
支撐板；
置于支撐板上第二夾板；
置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第一夾板；
固定于支撐板上，并穿通第一夾板和第二夾板的定位柱；
與支撐板相連接的機械手臂；
以及與機械手臂連接用于切割的刀具。
7.根據權利要求6所述的切割裝置，其特征在于第二夾板為圓形，其直徑大于所述第一夾板的直徑。
8.根據權利要求6所述的切割裝置，其特征在于所述第一夾板和第二夾板中具有定位孔，其孔的形狀、大小與位置與支撐膜墊片中的定位孔的形狀、大小與位置相同。
9.根據權利要求6所述的切割裝置，其特征在于所定位柱通過螺紋連接方式固定于支撐板上。
10.根據權利要求6所述的切割裝置，其特征在于所述定位柱通過螺母固定第一夾板和第二夾板于支撐板上。
11.根據權利要求6所述的切割裝置，其特征在于所述定位柱為兩個或者兩個以上。
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