[實用新型]膜厚測量光路系統

在審

• 申請號: 200820141226.3
• 申請日: 2008-11-07
• 公開（公告）號: CN201307000Y
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發明（設計）人: 張博;薛尚清;謝亮;魏楊
• 申請（專利權）人: 四川南光電氣有限責任公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 成都立信專利事務所有限公司
• 代理人: 馮忠亮

技術領域：

本實用新型與真空光學鍍膜生產中檢測膜厚度的檢則儀的光路系統有關。

背景技術：

已有的膜厚檢測儀的光路系統由光源調制傳導裝置和光纖偶合器組成，光纖偶合器接收傳導光。光纖入射端口和出射端口為圓形，而與出射端口連接的單色儀入射端的狹縫將圓形光束的部分光遮擋，光能的利用不充分，檢測效果差。光源形腔的通光口徑為Φ18mm，光信號弱，抗干擾能力差，檢測精度差，光路中用直接拉伸結構調節光路透鏡距離，調節精度差，操作不便。并且只有一組透鏡可調節距離，調節距離有限，不適宜各種大小高度的真空鍍膜機。

實用新型內容：

本實用新型的目的提供一種光信號強，光損耗小，光束聚焦范圍大，調節精度高，操作方便、適用性好的膜厚測量光路系統。

本實用新型是這樣實現的：

本實用新型膜厚測量光路系統，光源形腔3內有光源，光源升降調節機構5內有第一透鏡組34，光源升降調節機構與機械調制盤7連接，機械調制盤通過轉接套座9與主升降調節機構10連接，主升降調節機構與外軸套11連接，外軸套內有分光鏡、第二透鏡組29，外軸套上有信號采集插座12和第一對接法蘭13，第一對接法蘭與真空腔14連接，真空腔14內有被測片15，真空腔14與光纖偶合器的第二對接法蘭16連接，第二對接法蘭與接收套18連接，鎖緊螺套17固定接收套18于第二對接法蘭上，接收套18與光纖調整機構19連接，光纖調整機構19與光纖的一端連接，光纖的另一端與輸出套21連接，光纖調整機構內有第三透鏡組43，光源升降調節機構5、主升降調節機構10、光纖升降機構均有螺紋旋轉調節機構，能使其在軸向上進行距離拉伸的調節，從而實現光路的光學調節。光路系統的通光口徑44為28—35mm，光纖出射端40和單色儀入射端41有光通過的鮒縫。

光源升降調節機構5內有軸套33，軸套33的進光筒與光源形腔3的出光筒對接，與調節螺母32正螺紋連接，調節螺母32與光源形腔3的出光筒反螺紋連接，第一透鏡組34位于軸套33內，軸套33與機械調制盤7連接。

所述的主升降調節機構10包括與轉接套座9連接的通光軸套24，通光軸套24與外軸套11對接，主調節螺母的一端與通光軸套正旋螺紋連接，另一端與外軸套反旋螺紋連接。

所述的光纖調整機構19包括與光纖夾接的調節螺母37，調節螺母37與接收套18一端螺紋連接。

本實用新型有如下優點：

1，通光口徑增大約一倍(Φ33mm)，光信號增強5倍。

原光路通光口徑為Φ18mm，現更新為Φ33mm，增加了通光量，使調制能量信號增強，接受信號增強，從而提高了檢測精度，增強抵抗干擾能力。

2，自動升降調節機構，更加精密準確和調節方便。

原光路為直接拉伸方式調節光路透鏡距離，現更新為細螺紋旋轉調節，使調節更加線形，提高了調節精確度和增強了操作性。

3，改光纖出射端成狹縫，大大減小光損耗。

原光路光纖入射端為Φ3mm圓孔，出射端也同樣，但在進入單色儀解調光信號成為電信號時入口端需用狹縫遮擋，這樣使狹縫以外Φ3mm光束大量損失，以至光信號能量較弱，現改光纖出射端為狹縫，相當于使Φ3mm光束匯聚為狹縫，這樣有效避免了因狹縫遮擋而損失光能量的情況。

4，每個透鏡都能有一定調節范圍，大大增強了光透距離的適且范圍，適用于各種大小鍍膜機。

原光路只有一組透鏡可調節距離，調節距離有限；現改為三組透鏡均能不同程度調節距離，大大增加了光束聚焦范圍，可適宜各種大小高度的真空鍍膜機。

附圖說明：

圖1為本實用新型的光源調制傳導裝置結構圖。

圖2為光纖偶合器結構圖。

圖3為本實用新型的光路圖。

圖4為光源升降調節機構圖。

圖5為主升降調節機構圖。

圖6為光纖調整機構圖。

圖7為光纖出射端、入射端，單色儀入射端結構圖。

具體實施方式：

光源調制傳導裝置包括如下部分：

定位燈座1、固定腔2、光源形腔3、風機4、光源升降調節機構5、電源盒6、機械調制盤7、電機8、轉接套座9、主升降調節機構10、外軸套11、信號采集插座12、第一對接法蘭13。

光源采用100W/12V鎢鹵素燈，它受定位燈座固定，安裝于光源形腔中心處及光通路筒口處，于形腔相連接的固定腔對它有緊固和調節位置的作用，保證光源發光點在光通路中心處；

DC24V/0.1A的風機安裝于形腔另一側面，主要對光源起降溫作用；