[實用新型]膜厚測量光路系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820141226.3
• 申請日: 2008-11-07
• 公開（公告）號: CN201307000Y
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張博;薛尚清;謝亮;魏楊
• 申請（專利權(quán)）人: 四川南光電氣有限責任公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 成都立信專利事務(wù)所有限公司
• 代理人: 馮忠亮

1、膜厚測量光路系統(tǒng)，其特征在于光源形腔(3)內(nèi)有光源，光源升降調(diào)節(jié)機構(gòu)(5)內(nèi)有第一透鏡組(34)，光源升降調(diào)節(jié)機構(gòu)與機械調(diào)制盤(7)連接，機械調(diào)制盤通過轉(zhuǎn)接套座(9)與主升降調(diào)節(jié)機構(gòu)(10)連接，主升降調(diào)節(jié)機構(gòu)與外軸套(11)連接，外軸套內(nèi)有分光鏡、第二透鏡組(29)，外軸套上有信號采集插座(12)和第一對接法蘭(13)，第一對接法蘭與真空腔(14)連接，真空腔(14)內(nèi)有被測片(15)，真空腔(14)與光纖偶合器的第二對接法蘭(16)連接，第二對接法蘭與接收套(18)連接，鎖緊螺套(17)固定接收套于第二對接法蘭上，接收套(18)與光纖調(diào)整機構(gòu)(19)連接，光纖調(diào)整機構(gòu)(19)與光纖的一端連接，光纖的另一端與輸出套(21)連接，輸出套內(nèi)有第三透鏡組(43)，光源升降調(diào)節(jié)機構(gòu)(5)、主升降調(diào)節(jié)機構(gòu)(10)、光纖升降機構(gòu)均有螺紋旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)，光路系統(tǒng)的通光口徑(44)為28—35mm，光纖出射端(40)和單色儀入射端(41)有光通過的狹縫。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于光源升降調(diào)節(jié)機構(gòu)(5)內(nèi)有軸套(33)，軸套(33)的進光筒與光源形腔(3)的出光筒對接，與調(diào)節(jié)螺母(32)正螺紋連接，調(diào)節(jié)螺母(32)與光源形腔(3)的出光筒反螺紋連接，第一透鏡組(34)位于軸套(33)內(nèi)，軸套(33)與機械調(diào)制盤(7)連接。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的主升降調(diào)節(jié)機構(gòu)(10)包括與轉(zhuǎn)接套座(9)連接的通光軸套(24)，通光軸套(24)與外軸套(11)對接，主調(diào)節(jié)螺母(26)的一端與通光軸套正旋螺紋連接，另一端與外軸套反旋螺紋連接。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的光纖調(diào)整機構(gòu)(19)包括與光纖夾接的調(diào)節(jié)螺母(38)，調(diào)節(jié)螺母(38)與接收套(18)一端螺紋連接。