[實用新型]一種快拆式濺鍍陰極

無效

• 申請號: 200820140082.X
• 申請日: 2008-10-21
• 公開（公告）號: CN201292401Y
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 姚朝禎
• 申請（專利權）人: 鈺衡科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司
• 代理人: 王一斌;王 琦

技術領域

本實用新型關于一種快拆式濺鍍陰極，其特別關于一種方便濺鍍陰極裝卸、濺鍍靶材更換，并適用于立式濺鍍設備的濺鍍陰極。

背景技術

真空濺鍍技術是真空薄膜制程中應用層面相當廣泛的一項重要技術，近年來已經逐漸取代噴導電漆或電解電鍍等方式，大量地應用在光電、通信、半導體等產業，成為相當重要的表面處理技術。

一般而言，真空濺鍍設備可依照其濺鍍靶材的設置方式而區分為立式濺鍍設備及臥式濺鍍設備，其中，現有的立式濺鍍設備的濺鍍靶材設置于該濺鍍設備的腔體中央位置，當該濺鍍靶材需要更換時，作業人員需要利用機具從該腔體的上方將濺鍍陰極吊取出來，再進一步將濺鍍靶材更換；更換完畢后，仍必須再借助機具的輔助將濺鍍陰極置回該腔體中央，然而，濺鍍陰極的吊取過程相當不便，倘若濺鍍陰極以置放于該濺鍍設備門板內側的方式取代設置于腔體內部中央的方式，則其需要更換時，僅需打開門板更換即可，如此將可避免更換過程的不便。

基于現有立式濺鍍設備的濺鍍陰極拆卸以及濺鍍靶材更換的不便，本案申請人便提出一種臺灣第097216398號新型專利申請的具有半圓形門板的立式濺鍍設備，該新型案揭露一種可將濺鍍陰極設置于能進行開閉的半圓形門板上，以便濺鍍陰極在濺鍍設備上的裝、卸。然而，該案并未揭露便于濺鍍靶材更換的濺鍍陰極，因此在濺鍍陰極結構上仍存在著有待改進的空間。

實用新型內容

鑒于現有濺鍍陰極裝卸以及濺鍍靶材更換上的不便，本實用新型提供了一種快拆式濺鍍陰極，以期解決上述問題。

本實用新型的主要目的在于提供一種快拆式濺鍍陰極，其特別是關于一種方便濺鍍陰極拆卸、濺鍍靶材更換，并適用于立式濺鍍設備的濺鍍陰極。

為達到上述目的，本實用新型采取以下技術手段實現，其中本實用新型的快拆式濺鍍陰極包括有：

上本體，其具有一第一中空軸心、一套設于所述第一中空軸心外部的上支撐軸、一活動地穿設于該上支撐軸的上遮蓋固定座以及一設置于該第一中空軸心上并位于該上遮蓋固定座下方的聯軸器；

靶材組，其具有一內管、一設置于該內管中的第二中空軸心、一設置于該第二中空軸心一端并位于該內管下方的靶材下蓋、一套設于該內管外部的靶材以及一設置于該靶材上端的靶材上蓋；

下本體，其具有一傳動軸心、一套設于該傳動軸心外部的下支撐軸以及一活動地穿設于該下支撐軸的下遮蓋固定座。

通過上述結構，濺鍍陰極從立式濺鍍設備拆卸下來之后，將上遮蓋固定座與下遮蓋固定座松開并且分別往上、下移動以取出該靶材組，接著松開該靶材組的靶材上蓋與靶材下蓋，將內管從靶材中抽取出來，即可進行濺鍍靶材的更換，那么采用本實用新型的快拆式濺鍍陰極，立式濺鍍設備在濺鍍陰極的裝卸與濺鍍靶材的更換方面，將可較以往更為方便、迅速，制程效率也更為提升。

附圖說明

圖1為本實用新型快拆式濺鍍陰極的側視圖。

圖2為本實用新型快拆式濺鍍陰極的組件分解圖。

圖3為本實用新型快拆式濺鍍陰極設置于一具有半圓形門板的立式濺鍍設備的側視圖。

圖4為具有半圓形門板的立式濺鍍設備的門板開啟示意圖。

主要組件符號說明：

1????快拆式濺鍍陰極???11???上本體

111??第一中空軸心?????112??上支撐軸

113??上遮蓋固定座?????114??聯軸器

115??旋轉接頭?????????12???靶材組

121??內管?????????????122??第二中空軸心

123??靶材下蓋?????????124??靶材

125??靶材上蓋?????????13???下本體

131??傳動軸心?????????132??下支撐軸

133??下遮蓋固定座?????134??傳動輪

14???上遮蓋???????????15???下遮蓋

2????立式濺鍍設備

21???門板?????????????211??開口

212??濺鍍陰極設置部???22???動力源

221??傳動輪

具體實施方式

如圖1與圖2所示，本實用新型的快拆式濺鍍陰極1包括有：

上本體11，其具有一第一中空軸心111、一套設于該第一中空軸心111外部的上支撐軸112、一活動地穿設于該上支撐軸112的上遮蓋固定座113以及一設置于該第一中空軸心111上并位于該上遮蓋固定座113下方的聯軸器114；