[實用新型]一種快拆式濺鍍陰極無效
| 申請號： | 200820140082.X | 申請日： | 2008-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN201292401Y | 公開（公告）日： | 2009-08-19 |
| 發明（設計）人： | 姚朝禎 | 申請（專利權）人： | 鈺衡科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 | 代理人： | 王一斌;王 琦 |
| 地址： | 中國臺灣臺南縣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 快拆式濺鍍 陰極 | ||
【權利要求書】：
1、一種快拆式濺鍍陰極，其特征在于，該快拆式濺鍍陰極包括有：
上本體，其具有第一中空軸心、一套設于所述第一中空軸心外部的上支撐軸、一活動地穿設于所述上支撐軸的上遮蓋固定座以及一設置于所述第一中空軸心上并位于所述上遮蓋固定座下方的聯軸器；
靶材組，其具有一內管、一設置于所述內管中的第二中空軸心、一設置于所述第二中空軸心一端并位于所述內管下方的靶材下蓋、一套設于所述內管外部的靶材以及一設置于所述靶材上端的靶材上蓋；
下本體，其具有一傳動軸心、一套設于所述傳動軸心外部的下支撐軸以及一活動地穿設于所述下支撐軸的下遮蓋固定座。
2、如權利要求1所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，所述上本體具有一樞設于所述第一中空軸心異于所述聯軸器一端的旋轉接頭。
3、如權利要求2所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，所述傳動軸心具有一固設于所述傳動軸心異于下支撐軸一端的傳動輪。
4、如權利要求3所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，該快拆式濺鍍陰極進一步包括兩個分別設置于所述上遮蓋固定座兩側的上遮蓋。
5、如權利要求4所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，該快拆式濺鍍陰極進一步包括兩個分別設置于所述下遮蓋固定座兩側的下遮蓋。
6、如權利要求5所述的快拆式濺鍍陰極，其特征在于，所述上遮蓋和所述下遮蓋均為半月形。
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