[實用新型]連續(xù)式外觀多層鍍膜設備無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820138068.6 | 申請日: | 2008-09-24 |
| 公開(公告)號: | CN201284371Y | 公開(公告)日: | 2009-08-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 鄭兆希;黃昌文 | 申請(專利權)人: | 向熙科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/56 | 分類號: | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 | 代理人: | 許 靜 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 連續(xù) 外觀 多層 鍍膜 設備 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種鍍膜設備,更詳而言之,是有關于一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設備。
背景技術
對于目前工業(yè)界的工件鍍膜而言,一般所采取的方式為利用噴漆制程而對工件外觀進行上色。然而此種已知技術的過程冗長,且由于所使用的制程為化學性方法制程,因而易對環(huán)境造成污染,且在工件生產率上也無法大幅予以提升,亦不符合環(huán)保趨勢。
因此如何尋求一種鍍膜設備,可應用于工件外觀多層鍍膜環(huán)境中,當對工件外觀進行多層鍍膜之時,對于工件外觀所需的所有膜層,無須采用化學性方法制程,而全采用物理性制程,不對環(huán)境造成污染亦符合環(huán)保趨勢,且能大幅提升工件生產率,乃是待解決的問題。
實用新型內容
本實用新型的主要目的在于提供一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設備,應用于工件外觀多層鍍膜環(huán)境中,對工件外觀進行多層鍍膜時,對于工件外觀所需的所有膜層,全采用物理性制程,而完全不需要化學性制程。
本實用新型的又一目的在于提供一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設備,應用于工件外觀多層鍍膜環(huán)境中,對工件外觀進行多層鍍膜時,該連續(xù)式外觀多層鍍膜設備排列呈直線及/或呈U型及/或為環(huán)狀排列,全采用物理性制程,不對環(huán)境造成污染,因此符合環(huán)保趨勢。
本實用新型的再一目的在于提供一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設備,應用于工件外觀多層鍍膜環(huán)境中,能大幅提升工件的生產率。
根據以上所述的目的,本實用新型提供一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設備,該連續(xù)式外觀多層鍍膜設備位于連續(xù)式真空鍍膜作業(yè)的工件入/出區(qū)之間,該連續(xù)式外觀多層鍍膜設備包含對工件的鍍膜全采用物理性制程的多個腔體、用以隔離所述多個腔體并保證各腔體的真空度及/或潔凈度的多個活動式閘門、以及用于傳送工件的載具,所述載具在保證腔體的真空度及/或潔凈度的前提下,可活動地穿設于該些不同腔體之間。
多個腔體用以對工件進行表面改質處理及/或產生接口層及/或加入一層以上的功能性膜層及/或產生表面硬化層,不同的腔體之間以活動式閘門予以隔離,以避免影響個別腔體的真空度及/或潔凈度,于不同腔體之間,利用載具來傳送工件。該連續(xù)式外觀多層鍍膜設備具有多個腔體而不同腔體之間具有活動式閘門,其中,于跨腔體之間經由載具傳送工件時,將不會破壞腔體之真空度及/或潔凈度。
本實用新型再一方面還提供另一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設備,連續(xù)式外觀多層鍍膜設備包含:對工件利用電漿做表面改質處理的第一腔體;利用物理性的蒸鍍或濺鍍法產生出接口層的第二腔體;以物理性的蒸鍍或濺鍍法加入一層以上的功能性膜層的一個以上的第三腔體;利用蒸鍍或濺鍍法產生出表面硬化層的第四腔體;用以隔離所述多個腔體并保證各腔體的真空度及/或潔凈度的多個活動式閘門,設置于所述多個腔體的該些不同腔體之間;以及用于傳送工件的載具,在保證腔體的真空度及/或潔凈度的前提下,可活動地穿設于該些不同腔體之間。
本實用新型的有益效果在于,所述連續(xù)式外觀多層鍍膜設備,對工件外觀進行多層鍍膜時,該連續(xù)式外觀多層鍍膜設備排列呈直線及/或呈“U”型及/或為環(huán)狀排列,利用本實用新型的連續(xù)式外觀多層鍍膜設備,對工件外觀進行多層鍍膜過程時,首先,先利用電漿將工件做表面改質處理;繼而,利用蒸鍍或濺鍍法產生出接口層來改善工件與功能性模層間的附著力;接著,以蒸鍍或濺鍍法將所需要的功能性膜層逐一加入;最后,利用蒸鍍或濺鍍法產生出表面硬化層來保護功能性膜層,因此本實用新型所述的連續(xù)式外觀多層鍍膜設備完全不需要化學性制程,而是利用物理性制程,因此能夠改善化學性制程所造成的環(huán)保污染,且能大幅提升工件的生產率。
為使熟悉該項技術的工作人員了解本實用新型的目的、特征及功效,現藉由下述具體實施例,并配合所附的圖式,對本實用新型詳加說明。
附圖說明
圖1為一示意圖,用以顯示說明于連續(xù)式真空鍍膜作業(yè)的工件入/出區(qū)之間的本實用新型所述連續(xù)式外觀多層鍍膜設備的位置;
圖2為一示意圖,用以顯示說明如圖1中本實用新型的連續(xù)式外觀多層鍍膜設備的施行結構;以及
圖3為一流程圖,用以顯示說明利用于圖2中的連續(xù)式外觀多層鍍膜設備,以對工件外觀進行多層鍍膜的過程。
主要元部件符號說明
1????連續(xù)式外觀多層鍍膜設備
2????工件入區(qū)
3????工件出區(qū)
11?12?13?14??腔體
15???活動式閘門
16???載具
101??102??103??104??步驟
具體實施方式
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





