[實用新型]連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820138068.6
• 申請日: 2008-09-24
• 公開（公告）號: CN201284371Y
• 公開（公告）日: 2009-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭兆希;黃昌文
• 申請（專利權(quán)）人: 向熙科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 許 靜

1.一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，應(yīng)用于工件外觀多層鍍膜環(huán)境中，其特征在于，該連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備包含：

對工件的鍍膜全采用物理性制程的多個腔體；

用以隔離所述多個腔體并保證各腔體的真空度及/或潔凈度的多個活動式閘門，設(shè)置于所述多個腔體的該些不同腔體之間；以及

用于傳送工件的載具，在保證腔體的真空度及/或潔凈度的前提下，可活動地穿設(shè)于該些不同腔體之間。

2.一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，應(yīng)用于工件外觀多層鍍膜環(huán)境中，其特征在于，該連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備包含：

對工件利用電漿做表面改質(zhì)處理的第一腔體；

利用物理性的蒸鍍或濺鍍法產(chǎn)生出接口層的第二腔體；

以物理性的蒸鍍或濺鍍法加入一層以上的功能性膜層的一個以上的第三腔體；

利用蒸鍍或濺鍍法產(chǎn)生出表面硬化層的第四腔體；

用以隔離所述多個腔體并保證各腔體的真空度及/或潔凈度的多個活動式閘門，設(shè)置于所述多個腔體的該些不同腔體之間；以及

用于傳送工件的載具，在保證腔體的真空度及/或潔凈度的前提下，可活動地穿設(shè)于該些不同腔體之間。

3.一種連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，應(yīng)用于工件外觀多層鍍膜環(huán)境中，其特征在于，該連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備包含：

全采用物理性制程對工件外觀進行多層鍍膜過程的多個腔體；

用以隔離所述多個腔體并保證各腔體的真空度及/或潔凈度的多個活動式閘門，設(shè)置于所述多個腔體的該些不同腔體之間；以及

用于傳送工件的載具，在保證腔體的真空度及/或潔凈度的前提下，可活動地穿設(shè)于該些不同腔體之間。

4.如權(quán)利要求1、2、3任一項所述的連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，其特征在于，該連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備呈直線排列。

5.如權(quán)利要求1、2、3任一項所述的連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，其特征在于，該連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備呈“U”型排列。

6.如權(quán)利要求1、2、3任一項所述的連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，其特征在于，該連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備呈環(huán)狀排列。

7.如權(quán)利要求1、2、3任一項所述的連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，其特征在于，該工件鍍膜為3C產(chǎn)品外觀件鍍膜。

8.如權(quán)利要求1、2、3任一項所述的連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，其特征在于，該工件鍍膜為EMI防電磁波干擾鍍膜。

9.如權(quán)利要求1、2、3任一項所述的連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，其特征在于，該工件鍍膜為塑料表面金屬鍍膜SDC。

10.如權(quán)利要求1、2、3任一項所述的連續(xù)式外觀多層鍍膜設(shè)備，其特征在于，該工件鍍膜為鋁鎂合金鍍膜。