[實(shí)用新型]適用于多種介質(zhì)、多種尺寸的倒片機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820123453.3
• 申請(qǐng)日: 2008-11-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201345356Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李耀東;李俊峰;韓晨華;王新;趙鵬;沈曉東;張果虎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京有色金屬研究總院;有研半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 郭佩蘭

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種將硅片從一個(gè)花籃傳遞到另一個(gè)花籃的倒片機(jī)，同時(shí)也可以用于鍺、砷化鎵等半導(dǎo)體晶片的傳遞。

背景技術(shù)

硅片是現(xiàn)代超大規(guī)模集成電路的主要襯底材料，一般通過(guò)拉晶、切片、倒角、磨片、腐蝕、拋光、清洗等工藝過(guò)程做成的集成電路級(jí)半導(dǎo)體硅片。

硅片在加工流程中會(huì)經(jīng)過(guò)多次的從一個(gè)花籃傳遞到另一個(gè)花籃的操作。在有些工序可能輪換作業(yè)不同尺寸的硅片，有些工序可能因?yàn)榧庸すに嚨囊螅杵氁獣r(shí)刻保證濕潤(rùn)狀態(tài)作業(yè)。但是，已有的倒片機(jī)為單尺寸(市場(chǎng)有售)，即：5時(shí)花藍(lán)倒至5時(shí)花藍(lán)，6時(shí)花藍(lán)倒至6時(shí)花藍(lán)等，而且是在空氣中進(jìn)行，不能滿足多種介質(zhì)、多種尺寸的需求。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種適用于多種介質(zhì)、多種尺寸的倒片機(jī)，能在一臺(tái)倒片機(jī)上進(jìn)行多種尺寸硅片倒藍(lán)，本倒片機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便，便于推廣使用。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案：

這種適用于多種介質(zhì)、多種尺寸的倒片機(jī)，它包括：底座，在底座的下邊裝兩條導(dǎo)軌，在導(dǎo)軌上裝一滑條1，滑條的中間部位和另一滑條3固定連接，滑條3由滑條1和一導(dǎo)孔4定位，滑條3和硅片推桿5固定連接；在底座上表面上裝兩條定位導(dǎo)軌6，兩端分別以底座的中心線12為基準(zhǔn)，對(duì)稱開(kāi)4時(shí)用花籃定位槽9，5時(shí)用花籃定位槽10，6時(shí)用花籃定位槽11，在定位導(dǎo)軌6的外側(cè)加工4時(shí)、5時(shí)和6時(shí)定位槽14、15、16，還有定位銷23，定位銷的一端固定在定位槽內(nèi)，另一端旋轉(zhuǎn)后換位到相應(yīng)花藍(lán)的定位槽內(nèi)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：本倒片機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，兼容多種尺寸能在空氣中或水中倒片，操作方便，便于推廣使用。

附圖說(shuō)明

圖1a：已有的花籃結(jié)構(gòu)主視圖

圖1b：圖1a的俯視圖

圖2a：本實(shí)用新型的主視圖

圖2b：圖2a的俯視圖

具體實(shí)施方式

如圖1a、圖1b、圖2a、2b所示，本倒片機(jī)包括：底座，在底座的下邊裝兩條導(dǎo)軌，在導(dǎo)軌上裝一滑條1，此滑條1的一端可和一高度比推桿5高出2～5cm的垂直于此滑條的手柄2固定連接，用水中操作。推桿5的頂端至底座的上表面間的高度為13～13.5cm，滑條的中間部位和另一滑條3固定連接，滑條3由滑條1和一導(dǎo)孔4定位(定位導(dǎo)孔4位于底座下面，并靠近左端的中間部位)，滑條3和硅片推桿5固定連接。

在底座上表面上裝兩條定位導(dǎo)軌6，兩條定位導(dǎo)軌間的寬度7應(yīng)為3～8.5厘米(目前最小的尺寸為4時(shí))，定位導(dǎo)軌6相對(duì)于底座上表面的高度應(yīng)為2～5毫米。

在定位導(dǎo)軌的兩端分別以底座的中心線12為基準(zhǔn)，對(duì)稱開(kāi)4時(shí)用花籃定位槽9，5時(shí)用花籃定位槽10，6時(shí)用花籃定位槽11，定位槽的寬度為7～8毫米，一端定位槽到中心線12的距離大于花籃H面定位棱8到花籃口距離H₁2～5毫米。

在定位導(dǎo)軌6的外側(cè)加工3組定為槽，每組定位槽4個(gè)，分別以導(dǎo)軌6的對(duì)稱線和中心線12為對(duì)稱線。以中心線12為軸對(duì)稱的定位槽間的距離為1～2cm。倒4時(shí)片用的為定位槽14，倒5時(shí)片用的為定位槽15，倒6時(shí)片用的為定位槽16。4時(shí)定位槽間的寬度距離b₁小于4時(shí)花籃H端口內(nèi)側(cè)寬度B₁1～2毫米，5時(shí)定位槽間的寬度距離b₂小于5時(shí)花籃H端口內(nèi)側(cè)寬度B₂1～2毫米，6時(shí)定位槽間的寬度距離b₃小于6時(shí)花籃H端口內(nèi)側(cè)寬度B₃1～2毫米。在定位槽內(nèi)安裝一組可換位到定位槽14、15和16的定位銷23，即：定位銷的一端固定在定位槽內(nèi)，另一端旋轉(zhuǎn)后換位到相應(yīng)花藍(lán)的定位槽內(nèi)，定位銷23只有一組，當(dāng)?shù)?時(shí)片時(shí)，定位銷23放置到定位槽14的位置，當(dāng)?shù)?時(shí)片時(shí)，定位銷23放置到定位槽15的位置，當(dāng)?shù)?時(shí)片時(shí)，定位銷23放置到定位槽16的位置，定位銷露在底座表面以上的的高度應(yīng)和定位導(dǎo)軌6的高度一樣。8為花籃H面定位棱。

采用耐摩擦與磨耗、尺寸安全性良好、易成型、吸水量小的材料，如聚甲醛等作為底座。

實(shí)際倒片操作：

1、若倒4時(shí)片，將定位銷23放在定位槽14內(nèi)，將裝有待倒片的花籃放在有硅片推桿的一側(cè)，花籃H面定位棱8放在定位導(dǎo)軌6的槽9內(nèi)，花籃H面的前端由定位銷23固定，待裝硅片的空花籃相對(duì)應(yīng)的定位放置在另一側(cè)，推動(dòng)手柄2并傳動(dòng)推桿5將硅片倒入另一藍(lán)。