[實用新型]適用于多種介質、多種尺寸的倒片機

有效

• 申請號: 200820123453.3
• 申請日: 2008-11-03
• 公開（公告）號: CN201345356Y
• 公開（公告）日: 2009-11-11
• 發明（設計）人: 李耀東;李俊峰;韓晨華;王新;趙鵬;沈曉東;張果虎
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 郭佩蘭

1、一種適用于多種介質、多種尺寸的倒片機，其特征在于：它包括：底座，在底座的下邊裝兩條導軌，在導軌上裝一滑條(1)，滑條的中間部位和另一滑條(3)固定連接，滑條(3)由滑條(1)和一導孔(4)定位，滑條(3)和硅片推桿(5)固定連接；在底座上表面上裝兩條定位導軌(6)，兩端分別以底座的中心線(12)為基準，對稱開4時用花籃定位槽(9)，5時用花籃定位槽(10)，6時用花籃定位槽(11)，在定位導軌(6)的外側加工4時、5時和6時定位槽(14)、(15)、(16)，還有定位銷(23)，定位銷的一端固定在定位槽內，另一端旋轉后換位到相應花藍的定位槽內。

2、根據權利要求1所述的一種適用于多種介質、多種尺寸的倒片機，其特征在于：所述的滑條(1)的一端和一高度比推桿(5)高出2～5cm的垂直于此滑條的手柄(2)固定連接。