[實用新型]一種具有俯仰功能的硅片盒平臺

無效

• 申請號: 200820123233.0
• 申請日: 2008-10-24
• 公開（公告）號: CN201319371Y
• 公開（公告）日: 2009-09-30
• 發明（設計）人: 陳百捷;徐偉新;姚廣軍
• 申請（專利權）人: 陳百捷;北京自動化技術研究院
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐 寧

技術領域

本實用新型涉及一種支撐平臺，特別是關于一種具有俯仰功能的硅片盒平臺。

背景技術

目前用于半導體制造工藝設備中的硅片都必須放在一種特制的硅片盒中，每個硅片盒可放置25片硅片(國際標準)，硅片盒放在工藝設備的平臺上，由專用的機械手從平臺的硅片盒中取放硅片。目前國際上多用的有固定硅片盒平臺和具有俯仰功能的硅片盒平臺等。具有俯仰功能的硅片盒平臺是近年才出現的，它有以下優點：1、硅片盒平臺可呈一定仰角放置，當操作員取放硅片盒時比較穩定，盒中硅片不易滑出，可確保硅片在硅片盒中的準確位置。2、操作員在具有一定仰角的硅片盒平臺上進行取放操作時，也是比較舒適的工作姿勢，同時也安全得多。3、當平臺俯仰30～45°時硅片可以緩慢滑移到硅片盒底部，底部有與硅片直徑一致的圓弧形狀(國際標準)，從而達到硅片自動定心的作用(注：在芯片的制造工藝中始終要知道硅片的圓心)。但是目前的帶俯仰功能的硅片盒平臺結構復雜，且在俯仰狀態改變時容易發生抖動，進而帶動硅片一起震動，此現象是用戶不能接受的。

發明內容

針對上述問題，本實用新型的目的是提出一種結構簡單、動作平穩、可自動俯仰擺動的硅片盒平臺。

為實現上述目的，本實用新型采取以下技術方案：一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，它包括兩定位軸，所述兩定位軸上連接有一護板框架，所述護板框架通過一轉軸機構連接一翻轉板的底部前端；所述護板框架內的兩定位軸上連接一固定板，在所述固定板上連接一由動力裝置連接的曲柄連桿機構，所述曲柄連桿機構的輸出端通過一轉塊連接到所述翻轉板的底部后端，所述翻轉板的頂部連接硅片盒，當所述曲柄連桿機構的曲柄在0～180°范圍內往復間歇擺動時，連接所述硅片盒的翻轉板進行仰俯擺動。

所述轉軸機構可以包括一轉動連接在所述護板框架內的轉軸和一固定連接在所述轉軸上的連接塊，所述連接塊的另一端固定在所述翻轉板的底部前端。

所述轉軸機構還可以包括一固定連接在所述護板框架內的轉軸和一轉動連接在所述轉軸上的連接塊，所述連接塊的另一端固定在所述翻轉板的底部前端。

在所述固定板上相對曲柄的位置設置一所述翻轉板處于水平位置的0°位擺位傳感器，以動力裝置的輸出軸為中心，與所述0°位相差180°的位置設置另一個擺位傳感器，且在所述曲柄的0°位置處設置一擋柱。

所述連接塊一側設置有一支撐彈簧，所述支撐彈簧的另一端通過一連接架固定在所述前端的定位軸上。

所述曲柄上設置有用于轉動連接所述連桿的長圓孔。

所述動力裝置可以為旋轉氣缸，也可以為步進電機。

本實用新型由于采取以上技術方案，其具有以下優點：1、本實用新型由于設置了一套通過動力裝置帶動的曲柄連桿機構，而曲柄連桿機構的運動速度，恰好符合完整的正旋曲線運動規律，即在0°和180°兩個啟停點位置的運動的速度逐漸變為零，因此在曲柄聯桿機構帶動硅片盒平臺的翻轉板運動的過程中非常平穩，特別是在兩個啟停工作點處不會造成任何震動，實現了本實用新型的實用新型目的。2、本實用新型在硅片盒平臺翻轉板底部設置一連接塊，連接塊連接在下方的一轉軸上，使翻轉板可以通過轉軸帶動連接塊或轉軸相對連接塊的運動，形成以轉軸為軸心的俯仰運動。3、本實用新型在連接塊上還設置了一支撐彈簧，因此可以對硅片盒平臺前部形成穩固的輔助支撐，即使出現了意想不到的情況，也可以保證硅片盒平臺不會發生向前傾斜的事故，有效地保證了硅片不會滑落毀壞。4、本實用新型的曲柄連桿機構上的曲柄上設置圓形長孔，因此可以通過調節曲柄與連桿之間的連接位置，實現調節硅片盒平臺俯仰角度的調整。5、本實用新型的核心機構-曲柄聯桿機構和轉軸機構的設置具有結構簡單合理，即能實現自動俯仰，又能實現平穩俯仰，解決了已有技術中存在的難題。

附圖說明

圖1是本實用新型結構立體示意圖

圖2是本實用新型結構從另一角度觀察的立體結構示意圖

圖3是本實用新型側面示意圖

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型進行詳細的描述。

如圖1～3所示，本實用新型包括兩定位軸1，兩定位軸1的一端用于與其它裝置定位連接，兩定位軸1可以一樣長，也可以長度不同。兩定位軸1上固定連接有一護板框架2，在護板框架2上部通過軸承連接一轉軸3，轉軸3與兩定位軸1在空間平行設置。在轉軸3上通過一固定在其上的連接塊4連接一翻轉板5的底部前端，翻轉板5的頂部固定連接一標準的硅片盒6。在連接塊4的側邊設置有一支撐彈簧7，支撐彈簧7的另一端通過一連接架8固定連接在其中的一定位軸1上。