[實用新型]一種具有俯仰功能的硅片盒平臺

無效

• 申請號: 200820123233.0
• 申請日: 2008-10-24
• 公開（公告）號: CN201319371Y
• 公開（公告）日: 2009-09-30
• 發明（設計）人: 陳百捷;徐偉新;姚廣軍
• 申請（專利權）人: 陳百捷;北京自動化技術研究院
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐 寧

1、一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：它包括兩定位軸，所述兩定位軸上連接有一護板框架，所述護板框架通過一轉軸機構連接一翻轉板的底部前端；所述護板框架內的兩定位軸上連接一固定板，在所述固定板上連接一由動力裝置連接的曲柄連桿機構，所述曲柄連桿機構的輸出端通過一轉塊連接到所述翻轉板的底部后端，所述翻轉板的頂部連接一硅片盒，當所述曲柄連桿機構的曲柄在0～180°范圍內往復間歇擺動時，帶動所述硅片盒進行仰俯擺動。

2、如權利要求1所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：所述轉軸機構包括一轉動連接在所述護板框架內的轉軸和一固定連接在所述轉軸上的連接塊，所述連接塊的另一端固定在所述翻轉板的底部前端。

3、如權利要求1所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：所述轉軸機構包括一固定連接在所述護板框架內的轉軸和一轉動連接在所述轉軸上的連接塊，所述連接塊的另一端固定在所述翻轉板的底部前端。

4、如權利要求1或2或3所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：在所述固定板上相對曲柄的位置設置一所述翻轉板處于水平位置的0°位擺位傳感器，以動力裝置的輸出軸為中心，與所述0°位相差180°的位置設置另一個擺位傳感器，且在所述曲柄的0°位置處設置一擋柱。

5、如權利要求1或2或3所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：所述轉軸機構通過一連接塊連接到所述翻轉板的底部前端，所述連接塊一側設置有一支撐彈簧，所述支撐彈簧的另一端通過一連接架固定在所述前端的定位軸上。

6、如權利要求4所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：所述轉軸機構通過一連接塊連接到所述翻轉板的底部前端，所述連接塊一側設置有一支撐彈簧，所述支撐彈簧的另一端通過一連接架固定在所述前端的定位軸上。

7、如權利要求1或2或3或6所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：所述曲柄上設置有用于轉動連接所述連桿的長圓孔。

8、如權利要求4所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：所述曲柄上設置有用于轉動連接所述連桿的長圓孔.

9、如權利要求5所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：所述曲柄上設置有用于轉動連接所述連桿的長圓孔。

10、如權利要求1或2或3或6或8或9所述的一種具有俯仰功能的硅片盒平臺，其特征在于：所述動力裝置為旋轉氣缸和步進電機之一。