[實用新型]用于晶片或襯底的UV處理的裝置

無效

• 申請號: 200820115092.8
• 申請日: 2008-05-15
• 公開（公告）號: CN201298538Y
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 魯迪·波特曼
• 申請（專利權）人: 波瓦泰克有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 張 文;張春水

技術領域

本實用新型涉及一種用于晶片或襯底的紫外(UV)處理的裝置。UV光指紫外光。

術語晶片最初指由半導體材料制成的薄圓盤，但是現在一般還包括由例如玻璃的其它材料制成的薄圓盤。晶片的形狀是圓的。與此對比，矩形的類似物體稱為襯底。術語襯底還包括印刷電路板。

背景技術

用于UV處理的這種裝置例如在半導體工業中使用以便使粘結劑減活，即部分地或全部地降低它們的粘結能力。氣體放電燈或UV燈管用作UV光源。氣體放電燈需要很長的預熱時間直到它們準備好用于操作，因此產生很高量的廢熱。UV燈管效率低。

實用新型內容

本實用新型基于研發具有改進性能的這種裝置的目的。

本實用新型提出使用用于物體的UV處理的裝置，所述物體例如特別是晶片或襯底，即本實用新型提供一種用于晶片或襯底的UV處理的裝置，所述裝置包括UV光源，所述UV光源包括多個發光二極管(LED)和熱沉，其中所述LED是發射UV光或者含有UV光的光的LED，并且其中熱沉是用于將由LED產生的廢熱散發到周圍環境中的熱沉。優選地，熱沉由陶瓷構成。在優選實施方式中，該裝置還包括用于接收物體即晶片或襯底的玻璃板，并且UV光源以固定方式布置在玻璃板下方并照亮玻璃板的預定表面區域。

根據本實用新型的裝置具有幾個優點：

—熱擴散很低，這意味著金屬薄片只經受適當的溫度。

—UV光源的使用壽命非常長，這意味著維護成本因此很低。

—UV光均勻分布在整個表面區域上。

—裝置直接準備好用于操作。避免了預熱時間。

附圖說明

包含在本說明書中并且構成本說明書一部分的附圖圖示了本實用新型的一個或多個實施方式，并且與詳細描述一起用于說明本實用新型的原理和實施。附圖不是按比例繪制的。在附圖中：

圖1和2示出了根據本實用新型的用于物體特別是晶片或襯底的UV處理的裝置的第一實施方式，；

圖3和4示出了這種裝置的第二實施方式；

圖5示出了這種裝置的第三實施方式；以及

圖6示出了這種裝置的第四實施方式。

具體實施方式

下面進行的陳述類似地應用于晶片以及襯底。為了簡便的原因，下面將只使用術語晶片。圖1和圖2分別示意性地示出了用于晶片或襯底的UV處理的裝置的第一實施方式的俯視圖和側視圖。該裝置包括底板1，在底板1中布置有運輸系統2和UV光源3，其中UV光源3向上照射UV光。運輸系統2包括馬達4、滾子5和傳送帶6。馬達4驅動至少一條傳送帶6。UV光源3布置在運輸系統2的中間。在示例中，運輸系統2的左半部分用作裝載表面7，右半部分用作卸載表面8。在操作過程中一個接一個的晶片被放在裝載表面7上，由運輸系統2在運輸平面9中沿箭頭所指示的運輸方向10上被傳送到卸載表面8，并被從卸載表面8取下。這種裝載和卸載能夠用手進行或者通過全自動裝載站和卸載站進行。

UV光源3包括多個LED11，LED11在預定角度區域中發射紫外光，所述預定角度在本示例中為大約120°。根據需要和應用，能夠使用不同類型的LED11。紫外發光二極管(UV?LED)是特別合適的，其主要或者幾乎專門地發射在UV范圍中的光。能夠從Nichia公司獲得一種UV?LED，該UV?LED發射波長為大約365nm的光并且獲得310mW的光輸出功率。該UV?LED可以與包裝在外殼中的集成透鏡系統一起使用。該集成透鏡系統用于在預定角度區域中發射UV光。在特定應用中，能夠使用白光LED作為LED?11，該白光LED發射包含相當大量的UV射線的白光。

LED?11不僅產生UV光，還產生廢熱。為了實現LED?11的最長可能壽命，必需將LED?11的操作溫度保持為盡可能低。因此，UV光源3包括熱沉12形式的被動冷卻部分或者熱沉12和風扇13形式的主動冷卻部分，其中風扇13允許空氣流經熱沉12。因此由LED11產生的廢熱能夠有效地傳遞到周圍環境中。LED?11例如安裝在印刷電路板14上，并且印刷電路板14緊固到熱沉12。印刷電路板14選擇為使得印刷電路板14將以最佳可能方式將由LED?11產生的廢熱引導到熱沉12。

當使用陶瓷作為用于熱沉12的材料時，能夠實現特別高的冷卻性能。熱沉12能夠由單片陶瓷材料制成或者能夠由布置在兩個導軌之間的幾個陶瓷塊制成，并且能夠單獨安裝。