[實用新型]高靈敏度氧化釔銥金燈絲氦質譜檢漏儀

無效

• 申請號: 200820114722.X
• 申請日: 2008-05-13
• 公開（公告）號: CN201225948Y
• 公開（公告）日: 2009-04-22
• 發明（設計）人: 秦小正
• 申請（專利權）人: 秦小正;秦小文
• 主分類號: G01M3/02
• 分類號: G01M3/02;G01N27/64
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種分析儀器設備，一種高靈敏度氧化釔銥金燈絲氦質譜檢漏儀。

背景技術

氦質譜檢漏儀是一種真空檢漏的分析設備，但目前已有的氦質譜檢漏儀的缺點是檢測靈敏度低，質譜室內的鎢燈絲極易燒毀損壞。

發明內容

為了解決現有氦質譜檢漏儀靈敏度低，質譜室內的鎢燈絲極易燒毀損壞的問題，本實用新型提供一種高靈敏度氧化釔銥金燈絲氦質譜檢漏儀，相對解決了燈絲易燒毀損壞的問題，并提高了檢漏儀的靈敏度。

本實用新型技術方案：高靈敏度氧化釔銥金燈絲氦質譜檢漏儀，包括分子泵、機械泵、集成閥堆、質譜室等系統，機械泵通過管路與集成閥堆和分子泵連接，由分子泵的抽氣口與質譜室連接，其特征在于所述質譜室內離子發生器的燈絲材料為氧化釔銥金絲，并用鼠籠式柵網去采集電子加壓，由一個帶角度的引流裝置引導離子，使離子經過175度非均勻強磁場運動后，最終由離子接收器的接收靶去收集離子流。

本實用新型有益效果

1.選用氧化釔銥金做燈絲，可降低燈絲發射電子的工作電壓，這樣即便燈絲暫時暴露在大氣中，也不會燒毀損壞。

2.由于使用鼠籠式柵網，這樣提高了電子的采集率。

3.加工一個帶角度的離子引流裝置，減少了離子的流失，從而明顯提高了儀器的靈敏度。

附圖說明

下面結合附圖和實施對本實用新型作進一步說明。

圖1是本實用新型的原理構造圖。

圖1中，1、機械泵，2、集成閥堆，3、分子泵，4、分子泵抽氣口，5、檢漏口，6、電壓輸入插頭(+)7、電壓輸入插頭(-)，8、氧化釔銥金燈絲，9、鼠籠式柵網，10、帶角度的引流裝置，11、175度非均勻強磁場，12、質譜室殼體，13、支架，14、離子接收靶，15、法蘭，16、離子收集器，17、質譜室，18、離子發生器。

具體實施方式

在圖1中，機械泵1通過管路與集成閥堆2和分子泵3連接，由分子泵抽氣口4與質譜室17連接。質譜室17是由支架13，質譜室殼體12，法蘭15，離子收集器16，帶角度的引流裝置10，175度非均勻強磁場11和離子發生器18組裝合成。這里離子發生器18封裝的插頭6和插頭7分別是電壓(+)(-)的輸入端，氧化釔銥金燈絲8的兩端就焊接在插頭6和插頭7上，圖中的氧化釔銥金燈絲8應加工成開路環狀。鼠籠式柵網9要裝配在環狀的氧化釔銥金燈絲8的中心。帶角度的引流裝置10應對準鼠籠式柵網9的中心去裝配。另外，在離子接收器16的內部要裝配離子接收靶14。

本實用新型的工作原理：首先按要求接通電源，正確啟動機械泵1，分子泵3，控制系統將按程序分別打開和關閉集成閥堆2的內部閥門，當顯示屏提示可以進行檢測后，被檢測的真空系統或零件應與檢漏口5銜接，噴氦時，如遇見有漏，氦氣將從被檢測的系統或零件的內部由檢漏口5擴散進入集成閥堆2，分子泵3和質譜室17內，此時氦氣將與氧化釔銥金燈絲8發生反應形成電子，鼠籠式柵網9將及時采集加壓，由帶角度的引流裝置10引導，經過175度非均勻強磁場運動，最終由離子收集器16的離子收集靶14接收離子流，通過量化運算完成漏率分析。