[實用新型]高靈敏度氧化釔銥金燈絲氦質譜檢漏儀無效
| 申請號： | 200820114722.X | 申請日： | 2008-05-13 |
| 公開（公告）號： | CN201225948Y | 公開（公告）日： | 2009-04-22 |
| 發明（設計）人： | 秦小正 | 申請（專利權）人： | 秦小正;秦小文 |
| 主分類號： | G01M3/02 | 分類號： | G01M3/02;G01N27/64 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 102218北京市昌平*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靈敏度 氧化釔 燈絲 氦質譜 檢漏 | ||
【權利要求書】：
1.一種高靈敏度氧化釔銥金燈絲氦質譜檢漏儀，包括機械泵、分子泵、集成閥堆、質譜室等，機械泵通過管路與集成閥堆和分子泵連接，由分子泵的抽氣口與質譜室連接，其特征在于質譜室內離子發生器的燈絲為氧化釔銥金絲，并用鼠籠式柵網去采集電子加壓，由一個帶角度的引流裝置引導離子。
2.根據權利要求1所述的高靈敏度氧化釔銥金燈絲氦質譜檢漏儀，其特征在于所述的氧化釔銥金燈絲要加工成開路環狀。
3.根據權利要求1所述的高靈敏度氧化釔銥金燈絲氦質譜檢漏儀，其特征在于帶角度的引流裝置應對準鼠籠式柵網的中心去裝配。
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