[實用新型]一種真空吸盤

有效

• 申請號: 200820110098.6
• 申請日: 2008-08-21
• 公開（公告）號: CN201287284Y
• 公開（公告）日: 2009-08-12
• 發明（設計）人: 葛鐘;閆志瑞;庫黎明;陳海濱;索思卓;張國棟;盛方毓;黃軍輝
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;H01L21/304
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 郭佩蘭

技術領域

本實用新型涉及一種硅片吸取裝置，尤其涉及在磨削機狹窄的磨削腔體內能夠非常方便、迅速、安全地取出硅片的真空吸盤。

背景技術

在硅片磨削制造流程中，由于磨削砂輪高速旋轉，為了保證機器和操作人員的安全性，這一加工過程一般設計在一密封腔體內完成。在加工時，由于可能出現的某些情況，例如機器突然斷電、真空壓力不足等，使得硅片停留在磨削腔體中，此時磨削機需要檢查出故障原因后才能重新啟動，停留在磨削機腔體內的硅片需要人工手動取出，但由于磨削機腔體空間狹小，而且固定硅片部件具有一定高度，硅片狀態像是嵌入在一加工面里，使得普通真空吸盤無法與硅片表面完全平行接觸，導致不能吸取硅片。同時操作人員由于個人自身熟練程度，身體狀況等方面的客觀因素影響，在取片過程中如果使用的力度、姿勢不對，使得硅片在被取出過程中難免碰撞到周圍部件而造成硅片破碎。為了避免普通真空吸盤在狹窄的磨削腔體內無法與硅片表面完全平行接觸，導致不能取出硅片，同時也避免操作人員人工手動取片帶來的效率下降，硅片損失問題。

發明內容

本實用新型目的是提供一種真空吸盤，能夠在磨削機狹窄的磨削腔體內非常方便、迅速、安全地取出硅片。

為了實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：這種真空吸盤包括一截面為“凸”字形的圓柱體支架，一V型圈，一本體，截面為“凸”字形的圓柱體支架設一氣流通道，本體為一中空通氣管，于本體側面設一突出端口，突出的端口中空并與本體通氣管連通，本體側面突出的端口插入截面為“凸”字形的圓柱體支架上的氣流通道實現氣流連通。

圓柱體支架用于固定V型圈和連接本體，V型圈固定在圓柱體支架上。本體作為手持部分，于本體側面設一突出端口，突出的端口中空并與本體通氣管連通，突出的端口插入圓柱體支架上的氣流通道實現氣流連通。

本實用新型的優點：本實用新型在吸取停留在機器狹窄腔體內的硅片時，避免普通真空吸盤無法與硅片表面完全平行接觸，不能吸取硅片的弊端；也避免操作人員由于個人自身熟練程度，身體狀況等方面的客觀因素影響，在取片過程中如果使用的力度、姿勢不對，使得硅片在取出過程中碰撞到周圍部件而造成硅片破碎。同時在磨削腔體內吸取硅片時由于眼睛很難或不能看清楚，而本實用新型中的V型圈由軟性橡膠材料制成，首先接觸硅片能夠起緩沖作用，避免吸盤吸附面對硅片表面造成劃傷。

附圖說明

圖1為本實用新型真空吸盤的分解示意圖。

圖2為本實用新型真空吸盤的組合示意圖。

具體實施方式

請參閱圖1和圖2，一種磨削機用真空吸盤，其包括一截面為“凸”字形的圓柱體支架1，一V型圈(V-ring)2，一本體3。截面為“凸”字形的圓柱體支架1由兩個直徑不同的圓柱體I和圓柱體II構成，圓柱體I和圓柱體II為一整體。圓柱體I具有一定厚度T(0<T≤50mm)，圓柱體I直徑等于V型圈2的外徑；圓柱體II厚度T1等于V型圈2內側高度H。V型圈2由軟性橡膠材料制成，V型圈2的內徑略小于圓柱體II直徑，V型圈2固定在圓柱體II上。截面為“凸”字形的圓柱體支架1設一氣流通道1-1，本體3作為手持部分，本體3具有足夠長度(即便于操作的長度)，本體3為一中空通氣管，于本體側面設置一突出端口3-1，突出的端口3-1中空并與本體3通氣管連通，突出的端口3-1插入圓柱體支架1上的氣流通道1-1實現氣流連通。

當吸取在磨削腔里的硅片時，圓柱體I具有一定厚度T，該厚度大于硅片周圍固定硅片部件的高度，在腔體內吸取硅片時由于眼睛很難或不能看清楚，吸盤直接接觸硅片時，V型圈2由軟性橡膠材料制成，首先接觸硅片能夠起緩沖作用，避免吸盤對硅片表面造成損傷。同時由軟性橡膠材料制成的V型圈2與硅片完全接觸后形成一吸附空間，抽真空時，吸附空間壓力減小，形成真空吸力，硅片被吸取。