[實用新型]一種真空吸盤有效
| 申請號： | 200820110098.6 | 申請日： | 2008-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN201287284Y | 公開（公告）日： | 2009-08-12 |
| 發明（設計）人： | 葛鐘;閆志瑞;庫黎明;陳海濱;索思卓;張國棟;盛方毓;黃軍輝 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B7/22 | 分類號： | B24B7/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空 吸盤 | ||
【權利要求書】：
1.一種真空吸盤，其特征在于：它包括一截面為“凸”字形的圓柱體支架，一V型圈，一本體，截面為“凸”字形的圓柱體支架設一氣流通道，本體為一中空通氣管，于本體側面設一突出端口，突出的端口中空并與本體通氣管連通，本體側面突出的端口插入截面為“凸”字形的圓柱體支架上的氣流通道實現氣流連通。
2.根據權利要求1所述的真空吸盤，其特征在于：截面為“凸”字形的圓柱體支架由兩個直徑不同的圓柱體I和圓柱體II構成，圓柱體I和圓柱體II為一整體。
3.根據權利要求2所述的真空吸盤，其特征在于：圓柱體I的厚度T為0<T≤50mm。
4.根據權利要求3所述的真空吸盤，其特征在于：V型圈由軟性橡膠材料制成，V型圈內側高度等于圓柱體II高度，V型圈固定在圓柱體II上。
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