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[實用新型]單晶生長加熱裝置無效

專利信息
申請號: 200820105687.5 申請日: 2008-09-01
公開(公告)號: CN201276609Y 公開(公告)日: 2009-07-22
發明(設計)人: 劉彬國;張學強;張呈沛;何景輝 申請(專利權)人: 寧晉晶興電子材料有限公司
主分類號: C30B15/14 分類號: C30B15/14;C30B15/10
代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 代理人: 米文智
地址: 055550*** 國省代碼: 河北;13
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 生長 加熱 裝置
【權利要求書】:

1、一種單晶生長加熱裝置,結構中包括,坩堝,坩堝上方設置導流筒,坩堝底部設置支撐坩堝的坩堝支架,包圍坩堝設置筒狀加熱器,加熱器外圍設置保溫筒,其特征在于:所述的導流筒結構設計為帶隔熱空腔的環狀結構,其隔熱空腔下厚上薄。

2、根據權利要求1所述的單晶生長加熱裝置,其特征在于所述導流筒內孔上部為錐形導流段,下部為柱形導流段,二者結合處平滑過渡。

3、根據權利要求1所述的單晶生長加熱裝置,其特征在于所述坩堝為豎直均勻分隔的四瓣結構。

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