[實用新型]單晶生長加熱裝置無效
| 申請號: | 200820105687.5 | 申請日: | 2008-09-01 |
| 公開(公告)號: | CN201276609Y | 公開(公告)日: | 2009-07-22 |
| 發明(設計)人: | 劉彬國;張學強;張呈沛;何景輝 | 申請(專利權)人: | 寧晉晶興電子材料有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/14 | 分類號: | C30B15/14;C30B15/10 |
| 代理公司: | 石家莊國為知識產權事務所 | 代理人: | 米文智 |
| 地址: | 055550*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 生長 加熱 裝置 | ||
【權利要求書】:
1、一種單晶生長加熱裝置,結構中包括,坩堝,坩堝上方設置導流筒,坩堝底部設置支撐坩堝的坩堝支架,包圍坩堝設置筒狀加熱器,加熱器外圍設置保溫筒,其特征在于:所述的導流筒結構設計為帶隔熱空腔的環狀結構,其隔熱空腔下厚上薄。
2、根據權利要求1所述的單晶生長加熱裝置,其特征在于所述導流筒內孔上部為錐形導流段,下部為柱形導流段,二者結合處平滑過渡。
3、根據權利要求1所述的單晶生長加熱裝置,其特征在于所述坩堝為豎直均勻分隔的四瓣結構。
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