[實用新型]夾取硅片的石英舟

無效

• 申請號: 200820095691.8
• 申請日: 2008-07-21
• 公開（公告）號: CN201247768Y
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發明（設計）人: 于祝鵬;葉宗桂
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄭小粵

【技術領域】

本實用新型涉及硅片制作技術領域，尤其涉及一種夾取硅片的石英舟。

【背景技術】

在半導體制作工藝中，經常需要將花籃里面的硅片夾取出來放置到石英舟里，或者將石英舟里面的硅片夾取出來放置到花籃里去。目前，上述操作一般是工作人員利用鑷子或夾子來夾取硅片。這種方式的缺點在于，由于花籃或石英舟中承載放置硅片的座槽的間隙很小，放置于其中的硅片的間隙也很小，人為地夾取放置極易產生硅片與硅片之間的摩擦而劃傷硅片，這對硅片元器件的電特性有致命的影響。此外，一片片地夾取硅片，每次只能夾取一片硅片，工作效率低。

【實用新型內容】

本實用新型的目的是提供一種夾取硅片的石英舟，可以避免硅片轉移時被劃傷，并提高工作效率。

為達到上述實用新型目的，本實用新型提出以下的技術方案：

一種夾取硅片的石英舟，包括固定條及兩個以上卡片條，所述卡片條相互平行地固定在固定條上并與所述固定條垂直，所述卡片條上設有與硅片相適應的座槽。

其中，所述卡片條包括一個以上底架條、兩個以上支架條、兩個以上邊架條：

所述底架條、支架條及邊架條相互平行，所述支架條位于底架條外側，所述邊架條位于支架條外側；所述固定條與所述底架條、支架條及邊架條垂直，所述固定條與所述底架條、支架條及邊架條固定連接；所述底架條上設有與花籃上座槽相適應的底架座槽，所述邊架條上設有與花籃上座槽相適應的邊架座槽。

其中，還包括一夾取件，所述支架條含有可容入所述夾取件的空腔。

其中，所述支架條為兩個；所述邊架條為兩個；所述固定條為三個。

其中，所述固定條呈圓滑的圓弧狀或彎折的圓弧狀。

其中，所述卡片條包括兩個以上支架條、兩個以上邊架條：

所述支架條及邊架條相互平行，所述邊架條位于支架條外側；所述固定條與所述支架條及邊架條垂直，所述固定條與所述支架條及邊架條固定連接；所述邊架條上設有與花籃上座槽相適應的邊架座槽。

其中，所述支架條上設有與花籃上座槽相適應的支架座槽。

其中，還包括一夾取件，所述支架條含有可容入所述夾取件的空腔。

其中，所述支架條為兩個；所述邊架條為兩個；所述固定條為三個。

其中，所述卡片條包括一個以上底架條、兩個以上邊架條：

所述底架條及邊架條相互平行，所述邊架條位于底架條外側；所述固定條與所述底架條及邊架條垂直，所述固定條與所述底架條及邊架條固定連接；所述底架條上設有與花籃上座槽相適應的底架座槽，所述邊架條上設有與花籃上座槽相適應的邊架座槽。

從以上技術方案可以看出，本實用新型根據花籃的尺寸以及硅片與硅片之間的間隙寬度，使石英舟上放置硅片的每個座槽與花籃的每個座槽一一對應。當需要將花籃里面的硅片夾取出來放置到石英舟時，首先將石英舟與花籃扣合在一起，翻轉后石英舟置于花籃下方，然后取掉花籃，完成硅片與石英舟之間的轉移。當需要將石英舟里面的硅片夾取出來放置到花籃里去時，首先將花籃與石英舟扣合在一起，翻轉后花籃置于石英舟下方，然后移走石英舟，即可將硅片從石英舟轉移到花籃中。本實用新型一次即可將花籃或石英舟里的硅片全部轉移，工作效率較高；更為重要的是，本實用新型直接將硅片轉移，操作過程無需鑷子或夾子進行夾取，避免人為夾取放置時硅片與硅片之間產生摩擦造成劃傷，提高了產品品質。

【附圖說明】

圖1為本實用新型結構的俯視圖；

圖2為本實用新型結構的正視圖；

圖3為圖2中A-A方向的截面圖；

圖4為圖3中B部分的局部放大圖。

【具體實施方式】

下面結合具體的實施例及說明書附圖對本實用新型的目的、技術方案以及優點進行詳細的描述。

本實用新型的目的在于設計一種與花籃配套的石英舟，即根據花籃的尺寸以及硅片與硅片之間的間隙寬度，使石英舟上放置硅片的每個座槽與花籃的每個座槽一一對應，可以一次性直接轉移硅片，從而避免硅片轉移時被劃傷，并且有效地提高工作效率。

本實用新型的夾取硅片的石英舟，包括固定條及兩個以上卡片條，所述固定條呈圓弧狀，所述卡片條相互平行地固定在固定條上并與所述固定條垂直，所述卡片條上設有與硅片相適應的座槽。所述卡片條可以為底架條、兩支架條、邊架條的組合。

實施例一

如圖1、2、3、4所示，本實用新型提供一種夾取硅片的石英舟，包括一個以上底架條1、兩個以上支架條2、兩個以上邊架條3以及一個以上固定條4。其中，所述支架條2可以為兩個，所述邊架條3可以為兩個，所述固定條4可以為三個。