[實用新型]夾取硅片的石英舟

無效

• 申請號: 200820095691.8
• 申請日: 2008-07-21
• 公開（公告）號: CN201247768Y
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發明（設計）人: 于祝鵬;葉宗桂
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄭小粵

1、一種夾取硅片的石英舟，其特征在于，包括固定條及兩個以上卡片條，所述卡片條相互平行地固定在固定條上并與所述固定條垂直，所述卡片條上設有與硅片相適應的座槽。

2、根據權利要求1所述的夾取硅片的石英舟，其特征在于，所述卡片條包括一個以上底架條、兩個以上支架條、兩個以上邊架條：

所述底架條、支架條及邊架條相互平行，所述支架條位于底架條外側，所述邊架條位于支架條外側；所述固定條與所述底架條、支架條及邊架條垂直，所述固定條與所述底架條、支架條及邊架條固定連接；所述底架條上設有與花籃上座槽相適應的底架座槽，所述邊架條上設有與花籃上座槽相適應的邊架座槽。

3、根據權利要求2所述的一種夾取硅片的石英舟，其特征在于，還包括一夾取件，所述支架條含有可容入所述夾取件的空腔。

4、根據權利要求2所述的一種夾取硅片的石英舟，其特征在于，所述支架條為兩個；所述邊架條為兩個；所述固定條為三個。

5、根據權利要求2或3或4所述的一種夾取硅片的石英舟，其特征在于，所述固定條呈圓滑的圓弧狀或彎折的圓弧狀。

6、根據權利要求1所述的夾取硅片的石英舟，其特征在于，所述卡片條包括兩個以上支架條、兩個以上邊架條：

所述支架條及邊架條相互平行，所述邊架條位于支架條外側；所述固定條與所述支架條及邊架條垂直，所述固定條與所述支架條及邊架條固定連接；所述邊架條上設有與花籃上座槽相適應的邊架座槽。

7、根據權利要求6所述的一種夾取硅片的石英舟，其特征在于，所述支架條上設有與花籃上座槽相適應的支架座槽。

8、根據權利要求6所述的一種夾取硅片的石英舟，其特征在于，還包括一夾取件，所述支架條含有可容入所述夾取件的空腔。

9、根據權利要求6至8中任一項所述的一種夾取硅片的石英舟，其特征在于，所述支架條為兩個；所述邊架條為兩個；所述固定條為三個。

10、根據權利要求1所述的夾取硅片的石英舟，其特征在于，所述卡片條包括一個以上底架條、兩個以上邊架條：

所述底架條及邊架條相互平行，所述邊架條位于底架條外側；所述固定條與所述底架條及邊架條垂直，所述固定條與所述底架條及邊架條固定連接；所述底架條上設有與花籃上座槽相適應的底架座槽，所述邊架條上設有與花籃上座槽相適應的邊架座槽。