[實用新型]刻蝕機的裝片裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820095331.8
• 申請日: 2008-07-08
• 公開（公告）號: CN201178091Y
• 公開（公告）日: 2009-01-07
• 發(fā)明（設計）人: 葉宗桂
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/306;H01L21/673;H01L21/687;C23F1/08
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄭小粵

1.一種刻蝕機的裝片裝置，其特征在于，包括夾片板、夾片蓋、定位結構，所述夾片板通過定位結構固定其位置，在該夾片板上設有一個或兩個以上圓形凹槽，每個圓形凹槽的圓周邊上設有復數(shù)個彈簧，所述夾片蓋與定位結構活動連接，以使該夾片蓋與所述夾片板蓋合，該夾片蓋上設有一個或兩個以上圓孔，該圓孔與所述夾片板上的圓形凹槽相對應，且該圓孔的圓周邊上設有復數(shù)個與所述彈簧對應的頂針，用于在該夾片蓋與夾片板蓋合時頂開彈簧。

2.根據(jù)權利要求1所述的刻蝕機的裝片裝置，其特征在于，所述定位結構包括第一梯臺、第二梯臺、第三梯臺和底板，所述底板的三個側邊上分別設置第一梯臺、第二梯臺和第三梯臺，該第三梯臺位于第一梯臺和第二梯臺之間。

3.根據(jù)權利要求2所述的刻蝕機的裝片裝置，其特征在于，所述夾片蓋與第三梯臺活動連接。

4.根據(jù)權利要求2所述的刻蝕機的裝片裝置，其特征在于，所述第一梯臺、第二梯臺和第三梯臺上分別設有一個或復數(shù)個臺階，用于安放夾片板，并使該夾片板的位置固定。