[實用新型]一種噴淋防污染裝置

有效

• 申請號: 200820094929.5
• 申請日: 2008-06-20
• 公開（公告）號: CN201243008Y
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發明（設計）人: 余仲;黃進權
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳創精密設備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/306;C23F1/08;B08B17/00
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

技術領域

本實用新型涉及硅材料的酸或堿處理的設備，尤其涉及一種用于硅材料酸或堿處理設備中的噴淋防污染裝置。

背景技術

在硅片、硅料與硅芯的處理中，由于涉及酸或堿處理工序，故需要把酸或堿處理工作區與其它處理(水洗/干燥)工作區分開，以避免酸或堿對后處理工作區的污染。現有避免酸或堿對后處理工作區的污染的做法有：1、通過酸堿工段的抽排風系統來避免酸堿氣的漂移。這樣做要求抽風效果要好，且抽風系統必須連續工作。2、把設備分成兩部分來做，酸洗做一臺設備，堿洗做一臺設備；這樣做由于兩臺設備工藝要連著做，就需人為周轉，會帶來工藝的二次污染。

實用新型內容

本實用新型為了克服現有避免酸或堿對后處理工作區污染的方法的處理難度大、工藝難控制的缺陷，提供一種用于硅材料酸或堿處理設備中的噴淋防污染裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：一種設置在酸堿處理的設備內的噴淋防污染裝置，其包括過渡槽、設于過度槽中部上方的噴淋機構、設于該噴淋機構周邊的隔板，所述的隔板及過渡槽均與所述的設備內壁連接，所述過渡槽內部設有傳送機構。

其中，所述傳送機構為帶傳動機構，其傳送起點與終點分別位于過渡槽內兩端。

所述傳送機構上設置有工件籃，傳送機構與噴淋機構下端的距離大于工件籃高度。

所述設備內部的空間被所述的隔板及過渡槽劃分成左、右兩個獨立的工作區，而過渡槽橫跨這兩個工作區。

本實用新型在硅材料進行酸或堿處理的設備中，設置一帶有傳送機構的過渡槽，通過設于分區處(左、右工作區交界處)上方的噴淋機構所噴淋形成的水簾，把左右兩工作區的空氣有效地隔斷，工件籃的傳送由傳送機構實現，這樣左右兩區的氣流就大大的減少互通，起到隔離效果，從而減少酸或堿氣流對后處理工作區的污染。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的說明：

圖1為本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示一種硅材料的酸或堿處理設備中的噴淋防污染裝置，其設置在硅材料的酸或堿處理設備內部需要隔離的區域處。本實用新型的優選實施例包括：橫向設置的過渡槽1、縱向設于過度槽中部上方的噴淋機構9、設于該噴淋機構周邊的隔板5，所述的隔板及過渡槽均與所述的設備內壁6緊密連接。過渡槽內部設有一帶傳送機構2，其傳送起點與終點分別位于過渡槽內左右兩端。傳送機構上設置有工件籃3，傳送機構與噴淋機構9下端的距離大于工件籃高度。所述設備是四方框架結構，其內部的空間被所述的隔板5及過渡槽1劃分成兩個獨立的工作區7、8。過渡槽1前后側面的尺寸，若與設備內腔側壁尺寸正好相匹配，則可將設備內腔側壁部分直接與過渡槽1連接；若過渡槽1側面尺寸比設備內腔側壁小，那么其空隙部分設置隔板5隔離。總之確保設備內部空間被隔板及過渡槽1隔離成為相互獨立的左工作區7和右工作區8，而過渡槽1橫跨兩個工作區。

工作時，首先開啟噴淋機構9噴淋形成水簾4，然后將工件放入位于傳送帶上的工件籃3中，再啟動傳送機構2將工件籃從一個工作區傳送到另一個工作區。

本實用新型通過噴淋機構所噴淋形成的水簾，把左右兩工作區的空氣有效地隔斷，工件籃的傳送由傳送機構實現，這樣左右兩工作區的氣流就大大的減少互通，起到隔離效果，從而減少酸或堿氣流對后處理工作區的污染。

上述為本實用新型優選實施例，凡在此原理上改進，均落入本實用新型的保護范圍。