[實用新型]進(jìn)出料裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820094363.6 | 申請日： | 2008-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN201238046Y | 公開（公告）日： | 2009-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 高云峰;付曉輝;廖有用;王光能;胡晶 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市大族精密機(jī)電有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L33/00;B65G47/74;B65G47/04;B65G49/07 |
| 代理公司： | 深圳市科吉華烽知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518057廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 進(jìn)出 裝置 | ||
1.一種進(jìn)出料裝置，其特征在于：其包括進(jìn)料平臺，推頭，夾料裝置，料盒升降系統(tǒng)，料盒水平運動系統(tǒng)以及出料平臺，所述的推頭設(shè)置在進(jìn)料平臺上，所述的進(jìn)料平臺的末端與料盒升降系統(tǒng)以及料盒水平運動系統(tǒng)相連，夾料裝置設(shè)置在料盒升降系統(tǒng)以及料盒水平運動系統(tǒng)上，料盒升降系統(tǒng)和料盒水平運動系統(tǒng)的末端與出料平臺相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于：所述料盒升降系統(tǒng)包括升降機(jī)構(gòu)和第一步進(jìn)馬達(dá)，該升降機(jī)構(gòu)與該第一步進(jìn)馬達(dá)相連接，且該第一步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動該升降機(jī)構(gòu)運動；所述料盒水平運動系統(tǒng)包括水平運動機(jī)構(gòu)和第二步進(jìn)馬達(dá)，該水平運動機(jī)構(gòu)與該第二步進(jìn)馬達(dá)相連接，且該第二步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動該水平運動機(jī)構(gòu)運動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于：其進(jìn)一步包括同步帶，該同步帶設(shè)置在所述出料平臺上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于：所述的料盒升降系統(tǒng)上設(shè)置有光電傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于：所述夾料裝置包括夾料氣缸。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
