[實用新型]一種石英晶片腐蝕機

無效

• 申請號: 200820094090.5
• 申請日: 2008-05-28
• 公開（公告）號: CN201272743Y
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 葉竹之
• 申請（專利權）人: 深圳泰美克晶體技術有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉 健;黃韌敏

技術領域

本實用新型涉及石英晶片腐蝕領域，尤其涉及一種石英晶片腐蝕機。

背景技術

石英晶體的研究開發和生產活動中，對晶片的生產加工需要一個腐蝕過程。現有技術的腐蝕工藝為在晶片腐蝕機的機械臂上懸掛腐蝕架，該腐蝕架具有若干蜂窩狀空格，每個空格中裝載一個被腐蝕的晶片，裝載晶片的空格既要使腐蝕液充分進入，又不能讓晶片掉出來，因此這種腐蝕架結構比較復雜。懸掛完畢之后晶片腐蝕機的機械臂帶動腐蝕架在腐蝕液內上下往復運動，對晶片表面進行腐蝕作業。腐蝕完成后需要將腐蝕架內的晶片連同腐蝕架一起清洗干凈，再將腐蝕架拆開，把晶片取出。

因此，大量的生產實踐表明現有的石英晶片腐蝕機具有以下缺點：

1、生產投入大，成本高，主要表現為人力成本較高，尤其對于大規模生產，需要安排大量員工，進行裝入晶片和組合、裝卸腐蝕架。

2、工人勞動強度大，生產效率低，現有的工藝過程過多的依靠工人手動操作，自動化程度低。

3、晶片易碎易裂導致在裝卸腐蝕架過程中，晶片損失大，產品成本增加。

綜上可知，所述現有技術的石英晶片腐蝕機在實際使用上顯然存在不便與缺陷，所以有必要加以改進。

實用新型內容

針對上述的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種石英晶片腐蝕機，以提高石英晶片腐蝕的工作效率，降低操作者的勞動強度以及生產成本。

為了實現上述目的，本實用新型提供一種石英晶片腐蝕機，包括控制系統、若干組驅動系統、腐蝕系統以及清洗系統，其中，每一組驅動系統對應所述腐蝕系統和清洗系統中的一對腐蝕槽和清洗槽，所述每一組驅動系統包括：

擺動機構，具有

機械手，其上端設置有從動齒輪，下端設置有掛鉤，該掛鉤鉤掛一腐蝕籃，該腐蝕籃內任意容裝若干待腐蝕石英晶片；該機械手的中部設置連桿，通過該連桿與機械臂的下端連接；

機械臂，其上端設置有旋轉氣缸，其下端通過所述連桿與所述機械手連接；

副機械臂，其上端通過一曲柄搖桿機構與減速電機輸出軸連接；其下端設置有主動齒輪，當所述腐蝕籃置于所述腐蝕槽中進行腐蝕時，該主動齒輪與所述從動齒輪嚙合；

滑動機構，具有

平行滑道，該平行滑道由兩組直線軸承、兩組直線軸以及軸固定架組裝而成；

滑動板，該滑動板安裝于所述平行滑道上，并且所述擺動機構安裝于該滑動板上；

雙向氣缸，該雙向氣缸安裝于所述滑動機構上，其作用點對應于所述滑動板，并且該雙向氣缸上設置若干磁性開關，以控制所述滑動板上下往復運動。

根據本實用新型的石英晶片腐蝕機，所述副機械臂上端設置第二搖臂，該第二搖臂通過一擺桿連接到所述減速電機輸出軸上設置的與所述第二搖臂長度不等的第一搖臂；其中，所述減速電機轉動帶動所述第一搖臂作周轉運動，通過擺桿的帶動所述第二搖臂作正反往復運動，由該第二搖臂帶動所述副機械臂作正反往復旋轉運動；

所述機械手通過其上端設置的從動齒輪與所述副機械臂下端設置的主動齒輪的嚙合，作正反往復旋轉運動；

所述雙向氣缸的上、中、下部分別設置一個磁性開關，通過所述雙向氣缸的中部和下部的兩個磁性開關感應雙向氣缸活塞的磁環信號，以控制所述滑動板上下往復運動；以及

所述雙向氣缸上部的磁性開關感應該雙向氣缸活塞的磁環信號，控制所述滑動板沿所述平行滑道向上滑動至所述機械手鉤掛的腐蝕籃的水平位置高度，高于所述腐蝕槽與清洗槽之間的槽壁的高度；以及，所述機械臂上端的旋轉氣缸轉動帶動與所述機械臂連接的機械手產生轉動，以控制所述機械手轉換于腐蝕槽與清洗槽的工位。

根據根據本實用新型的石英晶片腐蝕機，所述雙向氣缸的兩端設置有限流器，該限流器調節滑動板上下往復運動的頻率；和/或

所述旋轉氣缸上設置有兩個磁性開關，通過所述兩個磁性開關以及一電磁閥組控制所述旋轉氣缸轉動帶動所述機械臂正反往復旋轉運動。

根據本實用新型的石英晶片腐蝕機，所述滑動板上下往復運動的行程由所述雙向氣缸的中部和下部的兩個磁性開關的距離決定；

所述機械手鉤掛的腐蝕籃在轉換腐蝕槽與清洗槽工位時的水平位置高度，由所述雙向氣缸的上部磁性開關控制。

根據本實用新型的石英晶片腐蝕機，所述副機械臂帶動所述機械手在腐蝕槽中作正反往復旋轉運動的旋轉弧度為90～115弧度；

所述機械臂帶動所述機械手在腐蝕槽或清洗槽中工作以轉換工位的旋轉弧度為180弧度。