[實(shí)用新型]一種石英晶片腐蝕機(jī)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820094090.5
• 申請(qǐng)日: 2008-05-28
• 公開（公告）號(hào): CN201272743Y
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉竹之
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳泰美克晶體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 劉 健;黃韌敏

1、一種石英晶片腐蝕機(jī)，包括控制系統(tǒng)、若干組驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、腐蝕系統(tǒng)以及清洗系統(tǒng)，其中，每一組驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)所述腐蝕系統(tǒng)和清洗系統(tǒng)中的一對(duì)腐蝕槽和清洗槽，其特征在于，所述每一組驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括：

擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，具有

機(jī)械手，其上端設(shè)置有從動(dòng)齒輪，下端設(shè)置有掛鉤，該掛鉤鉤掛一腐蝕籃，該腐蝕籃內(nèi)任意容裝若干待腐蝕石英晶片；該機(jī)械手的中部設(shè)置連桿，通過該連桿與機(jī)械臂的下端連接；

機(jī)械臂，其上端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)氣缸，其下端通過所述連桿與所述機(jī)械手連接；

副機(jī)械臂，其上端通過一曲柄搖桿機(jī)構(gòu)與減速電機(jī)輸出軸連接；其下端設(shè)置有主動(dòng)齒輪，當(dāng)所述腐蝕籃置于所述腐蝕槽中進(jìn)行腐蝕時(shí)，該主動(dòng)齒輪與所述從動(dòng)齒輪嚙合；

滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，具有

平行滑道，該平行滑道由兩組直線軸承、兩組直線軸以及軸固定架組裝而成；

滑動(dòng)板，該滑動(dòng)板安裝于所述平行滑道上，并且所述擺動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于該滑動(dòng)板上；

雙向氣缸，該雙向氣缸安裝于所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)上，其作用點(diǎn)對(duì)應(yīng)于所述滑動(dòng)板，并且該雙向氣缸上設(shè)置若干磁性開關(guān)，以控制所述滑動(dòng)板上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述副機(jī)械臂上端設(shè)置第二搖臂，該第二搖臂通過一擺桿連接到所述減速電機(jī)輸出軸上設(shè)置的與所述第二搖臂長(zhǎng)度不等的第一搖臂；其中，所述減速電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述第一搖臂作周轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，通過擺桿的帶動(dòng)所述第二搖臂作正反往復(fù)運(yùn)動(dòng)，由該第二搖臂帶動(dòng)所述副機(jī)械臂作正反往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；

所述機(jī)械手通過其上端設(shè)置的從動(dòng)齒輪與所述副機(jī)械臂下端設(shè)置的主動(dòng)齒輪的嚙合，作正反往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；

所述雙向氣缸的上、中、下部分別設(shè)置一個(gè)磁性開關(guān)，通過所述雙向氣缸的中部和下部的兩個(gè)磁性開關(guān)感應(yīng)雙向氣缸活塞的磁環(huán)信號(hào)，以控制所述滑動(dòng)板上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)；以及

所述雙向氣缸上部的磁性開關(guān)感應(yīng)該雙向氣缸活塞的磁環(huán)信號(hào)，控制所述滑動(dòng)板沿所述平行滑道向上滑動(dòng)至所述機(jī)械手鉤掛的腐蝕籃的水平位置高度，高于所述腐蝕槽與清洗槽之間的槽壁的高度；以及，所述機(jī)械臂上端的旋轉(zhuǎn)氣缸轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)與所述機(jī)械臂連接的機(jī)械手產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)，以控制所述機(jī)械手轉(zhuǎn)換于腐蝕槽與清洗槽的工位。

3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述雙向氣缸的兩端設(shè)置有限流器，該限流器調(diào)節(jié)滑動(dòng)板上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)的頻率；和/或

所述旋轉(zhuǎn)氣缸上設(shè)置有兩個(gè)磁性開關(guān)，通過所述兩個(gè)磁性開關(guān)以及一電磁閥組控制所述旋轉(zhuǎn)氣缸轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述機(jī)械臂正反往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述滑動(dòng)板上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)的行程由所述雙向氣缸的中部和下部的兩個(gè)磁性開關(guān)的距離決定；

所述機(jī)械手鉤掛的腐蝕籃在轉(zhuǎn)換腐蝕槽與清洗槽工位時(shí)的水平位置高度，由所述雙向氣缸的上部磁性開關(guān)控制。

5、根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述副機(jī)械臂帶動(dòng)所述機(jī)械手在腐蝕槽中作正反往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)弧度為90～115弧度；

所述機(jī)械臂帶動(dòng)所述機(jī)械手在腐蝕槽或清洗槽中工作以轉(zhuǎn)換工位的旋轉(zhuǎn)弧度為180弧度。

6、根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述機(jī)械手包括軸、軸承套、軸承、掛鉤接頭、掛鉤、固定塊和從動(dòng)齒輪；所述軸安裝于所述軸承上，所述軸承套將所述軸和軸承套裝于其內(nèi)；所述軸的上端與所述從動(dòng)齒輪連接，所述軸的下端與所述掛鉤接頭連接；所述掛鉤接頭下端設(shè)置一固定塊，該固定塊通過一緊固裝置與所述掛鉤連接；

所述機(jī)械臂的上端與一旋轉(zhuǎn)氣缸連接，該旋轉(zhuǎn)氣缸通過一連軸節(jié)與所述機(jī)械臂的軸接頭連接；

所述副機(jī)械臂的軸安裝于軸承套內(nèi)。

7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述主動(dòng)齒輪的齒數(shù)和模數(shù)與所述從動(dòng)齒輪的齒數(shù)和模數(shù)相等；和/或，

所述主動(dòng)齒輪與從動(dòng)齒輪為尼龍齒輪。

8、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述擺桿的兩端分別通過一關(guān)節(jié)軸承與所述第一搖臂和第二搖臂連接。

9、根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述腐蝕系統(tǒng)包括通過防腐管道依次順序連接的腐蝕箱、防腐泵，以及腐蝕槽、溢流槽；

所述清洗系統(tǒng)包括：清洗槽以及安裝在進(jìn)水口的一電磁閥；當(dāng)清洗液進(jìn)入清洗槽，通過溢流隔板排出的所述清洗槽。

10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的石英晶片腐蝕機(jī)，其特征在于，所述清洗槽內(nèi)安裝有腐蝕加熱管；和/或，

所述石英晶片腐蝕機(jī)內(nèi)的清洗液的溫度通過溫度控制器與溫度傳感器控制；和/或，

所述控制系統(tǒng)是一可編程邏輯控制器。