[實用新型]防熱散失擋板以及含有該擋板的擴散爐

無效

• 申請號: 200820093920.2
• 申請日: 2008-05-07
• 公開（公告）號: CN201207384Y
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發明（設計）人: 于祝鵬
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/22
• 分類號: H01L21/22;C30B31/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄭小粵

【技術領域】

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種擴散系統中的防熱散失擋板以及含有該擋板的擴散爐。

【背景技術】

在半導體器件及集成電路制造過程中，需要對硅片進行擴散等工藝處理。目前一般采用傳統的懸臂擴散工藝，利用高溫下雜質的擴散達到摻雜的目的。

在擴散過程中，需要保持擴散爐的一致溫度，但是由于現在的擴散爐兩端尤其是爐口存在熱散失，因此需要對擴散爐進行加熱補償。在擴散爐的前中后三點設定溫度梯度，通常是爐口和爐尾設定的加熱溫度要比中間高些，以彌補兩端的散熱，保持擴散爐內的溫度一致，保證擴散區結深盡量一致。

但是，即使把溫度梯度加到足夠大，硅片結深一致性也不能得到保證，進而會影響后續電學參數的控制，使得硅片由于結深達不到標準而被迫返工。

此外，長期采用設定溫度梯度的形式對擴散爐進行加熱，由于對爐體加熱溫度不均勻，對設備的損傷較大，從而縮短了爐體的使用壽命，增加了成本。

【發明內容】

本實用新型的目的是提供一種防熱散失擋板以及含有該擋板的擴散爐，以達到提高硅片結深一致性并延長擴散爐壽命的目的。

為達到上述目的，本實用新型提出以下的技術方案：

一種防熱散失擋板，包括一橫截面與擴散爐內腔配合之板體，所述板體下部設有可與擴散爐底部凸臺配合固定之缺口。

優選地，所述板體上部還設有一卡口。

其中，所述板體由碳化硅制成。

其中，所述板體外層由石英制成，內層填充石英棉。

其中，所述板體的形狀為圓形。

一種含有防熱散失擋板的擴散爐，所述擴散爐的頭部和尾部至少放置一個擋板，所述擋板包括一橫截面與擴散爐內腔配合之板體，所述板體下部設有可與擴散爐凸臺配合固定之缺口。

優選地，所述板體上部還設有一卡口。

優選地，所述擴散爐的頭部放置有兩個擋板，所述擴散爐的尾部放置有一個擋板。

其中，所述板體由碳化硅制成。

其中，所述板體外層由石英制成，內層填充石英棉。

從以上技術方案可以看出，本實用新型采用不透光的物體作為擋板，最大程度地屏蔽了射線輻射防止了熱散失，更好地保持了硅片擴散結深的一致性，減少因為結深達不到設定值而返工的情況；并且本實用新型可以減少對設備造成的損壞，延長了擴散爐的壽命，降低了成本。

【附圖說明】

圖1為本實用新型的結構圖。

【具體實施方式】

下面結合具體的實施例對本實用新型的技術方案進行詳細描述。

本實用新型的目的是提高硅片結深一致性，并減少對設備的損壞，延長擴散爐壽命。為達到這一目的，本實用新型的基本技術構思是，采用一些不透光的物體最大程度屏蔽射線輻射防止熱散失，從而達到提高硅片擴散區各部分結深一致性的要求。

本實用新型提供一種防熱散失擋板，包括一橫截面與擴散爐內腔配合之板體1，與爐內腔形狀配合的擋板能最大限度地將造成熱散失的射線擋住，保持爐內溫度的一致性；板體1下部設有可與擴散爐底部凸臺配合固定之缺口1.1，板體1下部設有一馬鞍狀的缺口，可以與爐底部的凸臺配合將擋板固定好；板體1上部還設有一卡口1.2，通過該卡口可以將擋板更好地夾掛在擴散爐內。由于擴散爐內腔的形狀一般為圓形，因此板體1的形狀與之配合，一般也是大半圓形，其直徑略大于硅片直徑。

由于熱散失的主要形式是射線，例如紅外光將會帶走大量的熱量，造成熱散失。因此，擋板的材料一般有不透光的材料制成，比如SiC(碳化硅)。擋板還可以由石英制成，板體1的外層由石英制成，并在內層填充石英棉，這樣也能夠達到防止熱散失的效果，但是效果較SiC材質的擋板稍差。

本實用新型還提供了一種含有防熱散失擋板的擴散爐，擴散爐的頭部和尾部至少放置一個擋板，所述擋板包括一橫截面與擴散爐內腔配合之板體1，與爐內腔形狀配合的擋板能最大限度地將造成熱散失的射線擋住，保持爐內溫度的一致性；板體1下部設有可與擴散爐底部凸臺配合固定之缺口1.1，板體1下部設有一馬鞍狀的缺口，可以與爐底部的凸臺配合將擋板固定好；板體1上部還設有一卡口1.2，通過該卡口可以將擋板更好地夾掛在擴散爐內。由于擴散爐內腔的形狀一般為圓形，因此板體1的形狀與之配合，一般也是大半圓形，其直徑略大于硅片直徑。

在擴散爐中，一般而言頭部和尾部的熱散失較為嚴重，尤其頭部由于該處為一透明石英爐帽，熱散失更為嚴重，因此擴散爐頭部一般至少放置兩塊擋板，而尾部至少放置一塊擋板。當然，擋板放置得越多，防熱散失的效果越好。