[實用新型]防熱散失擋板以及含有該擋板的擴散爐

無效

• 申請號: 200820093920.2
• 申請日: 2008-05-07
• 公開（公告）號: CN201207384Y
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發明（設計）人: 于祝鵬
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/22
• 分類號: H01L21/22;C30B31/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄭小粵

1、一種防熱散失擋板，其特征在于，包括：

一橫截面與擴散爐內腔配合之板體，所述板體下部設有可與擴散爐底部凸臺配合固定之缺口。

2、根據權利要求1所述的防熱散失擋板，其特征在于：所述板體上部還設有一卡口。

3、根據權利要求2所述的防熱散失擋板，其特征在于，所述板體由碳化硅制成。

4、根據權利要求2所述的防熱散失擋板，其特征在于，所述板體外層由石英制成，內層填充石英棉。

5、根據權利要求1～4中任一項所述的防熱散失擋板，其特征在于，所述板體的形狀為圓形。

6、一種含有防熱散失擋板的擴散爐，其特征在于，所述擴散爐的頭部和尾部至少放置一個擋板，所述擋板包括一橫截面與擴散爐內腔配合之板體，所述板體下部設有可與擴散爐凸臺配合固定之缺口。

7、根據權利要求6所述的含有防熱散失擋板的擴散爐，其特征在于：所述板體上部還設有一卡口。

8、根據權利要求6所述的含有防熱散失擋板的擴散爐，其特征在于，所述擴散爐的頭部放置有兩個擋板，所述擴散爐的尾部放置有一個擋板。

9、根據權利要求6～8中任一項所述的含有防熱散失擋板的擴散爐，其特征在于，所述板體由碳化硅制成。

10、根據權利要求6～8中任一項所述的含有防熱散失擋板的擴散爐，其特征在于，所述板體外層由石英制成，內層填充石英棉。