[實用新型]光刻版夾具

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820092598.1
• 申請日: 2008-03-14
• 公開（公告）號: CN201188170Y
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王友旺
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳深愛半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G03F1/00
• 分類號: G03F1/00
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄭小粵

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實用新型涉及半導(dǎo)體制造工藝，尤其涉及用于清洗光刻版的夾具。

【背景技術(shù)】

在半導(dǎo)體制造工藝中，每一個環(huán)節(jié)對環(huán)境、器具的清潔干凈度都有很高的要求，即使是一丁點的沾污都會對產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生重要的影響，因此每一個細節(jié)的控制都非常重要，其中光刻版表面的清潔干凈程度尤其重要。

目前，光刻版的清洗過程一般是將花籃固定在甩版機上的夾具，再將光刻版放在花籃里，大約每次放置十五塊版，然后對光刻版進行低速沖水以及高速甩干。

但是，上述沖洗過程中僅僅從光刻版一個方向上進行沖水，難以徹底對光刻版進行清潔，而且光刻版與花籃之間存在一定空間，在高速旋轉(zhuǎn)時容易發(fā)生光刻版撞碎的情況。

【發(fā)明內(nèi)容】

本實用新型的目的是提供一種光刻版夾具，以提高光刻版的清潔效果，并有效地防止光刻版在甩干過程中受到損壞。

為達到上述發(fā)明目的，本實用新型提出以下的技術(shù)方案：

一種光刻版夾具，包括一底座，所述底座上固設(shè)有一安裝架，所述安裝架邊緣設(shè)有內(nèi)徑小于光刻版外徑的夾持部，所述夾持部內(nèi)側(cè)設(shè)有放置光刻版的凸墊，其中，所述夾持部由韌性材料制成；所述底座中心還設(shè)有一可與馬達/電機配合的轉(zhuǎn)動裝置。

其中，所述轉(zhuǎn)動裝置為設(shè)置于底座中心的可與馬達/電機軸干配合轉(zhuǎn)動的通孔。

優(yōu)選地，所述通孔上還加裝有一螺釘。

優(yōu)選地，所述通孔邊緣設(shè)有防水孔。

其中，所述轉(zhuǎn)動裝置為設(shè)置于底座中心的轉(zhuǎn)動軸，以及可與所述轉(zhuǎn)動軸配合的傳動帶或傳動齒輪。

優(yōu)選地，所述凸墊的面積為0.01～4cm²。

優(yōu)選地，所述安裝架為“十”字型。

其中，所述安裝架的夾持部為直角，且四個夾持部圍成矩形。

優(yōu)選地，所述安裝架為“人”字形。

優(yōu)選地，所述韌性材料為聚四氟乙烯。

從以上技術(shù)方案可以看出，本實用新型由韌性材料制作而成，有一定韌性，光刻版與夾具通過過盈配合固定在一起，且一個夾具只放置一塊光刻版，不會產(chǎn)生相互撞擊而損壞。此外，本實用新型與光刻版的接觸面積很小，可以很好地保護光刻版的版圖面不受劃傷或污染，且對光刻版的表面沖洗更充分，提高了清洗的效果。

【附圖說明】

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本實用新型的俯視圖。

【具體實施方式】

下面結(jié)合具體的實施例對本實用新型的技術(shù)方案進行詳細的描述。

實施例一：

如圖1、圖2所示，本實施例中夾具包括底座1，底座1上設(shè)有安裝架2和通孔3。其中安裝架2邊緣設(shè)有內(nèi)徑小于光刻版外徑的夾持部2.1，夾持部2.1內(nèi)側(cè)設(shè)有放置光刻版的凸墊2.2，其中，所述夾持部2.1由韌性材料制成，可與光刻版過盈配合，一般而言，夾持部2.1內(nèi)徑可比光刻版外徑略小0.5mm，由于夾持部2.1由韌性材料制成，具有一定的伸縮性，稍用力即可將光刻版壓入夾持部2.1，直至凸墊2.2。

底座1中心還設(shè)有一可與馬達/電機軸干配合轉(zhuǎn)動的通孔3，為了防止水與馬達/電機軸干接觸，達到放水的目的，本實用新型還在通孔3上還加裝有一由聚四氟乙烯制成的螺釘4，在通孔3邊緣設(shè)有防水孔5。

由于光刻版與夾具通過過盈配合在一起，非常牢固，即使在3600RPM的高轉(zhuǎn)速下也不會甩出，不會產(chǎn)生相互撞擊而損壞。

實施例二：

本實施例與實施例一相比，在夾光刻版處結(jié)構(gòu)不變的情況下，通過改變夾具與馬達/電機的傳動方式來完成本實用新型的目的。本實施例的夾具包括底座1，底座1上設(shè)有安裝架2和通孔3。其中安裝架2邊緣設(shè)有內(nèi)徑小于光刻版外徑的夾持部2.1，夾持部2.1內(nèi)側(cè)設(shè)有放置光刻版的凸墊2.2，其中，所述夾持部2.1由韌性材料制成，可與光刻版過盈配合，一般而言，夾持部2.1內(nèi)徑可比光刻版外徑略小0.5mm，由于夾持部2.1由韌性材料制成，具有一定的伸縮性；底座1中心還設(shè)有一轉(zhuǎn)動軸，以及可與所述轉(zhuǎn)動軸配合的傳動帶或傳動齒輪，馬達/電機可通過傳動帶或傳動齒輪帶動夾具高速轉(zhuǎn)動，對光刻版進行甩干。

進一步，為了保護光刻版版圖面，夾具與光刻版的接觸面積要盡可能的小，特別是光刻版的版圖面要盡量不與夾具進行接觸，在本實用新型中，支撐光刻版的凸墊2.2的面積很小，一般僅僅為0.01～4cm²(優(yōu)選為1cm²左右)，不會與光刻版的版圖面接觸。