[實用新型]光刻版夾具無效
| 申請號： | 200820092598.1 | 申請日： | 2008-03-14 |
| 公開（公告）號： | CN201188170Y | 公開（公告）日： | 2009-01-28 |
| 發明（設計）人： | 王友旺 | 申請（專利權）人： | 深圳深愛半導體有限公司 |
| 主分類號： | G03F1/00 | 分類號： | G03F1/00 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 | 代理人： | 鄭小粵 |
| 地址： | 518029廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 夾具 | ||
【權利要求書】：
1、一種光刻版夾具，其特征在于，包括：
一底座，所述底座上固設有一安裝架，所述安裝架邊緣設有內徑小于光刻版外徑的夾持部，所述夾持部內側設有放置光刻版的凸墊，其中，所述夾持部由韌性材料制成；
所述底座中心還設有一可與馬達/電機配合的轉動裝置。
2、根據權利要求1所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述轉動裝置為設置于底座中心的可與馬達/電機軸干配合轉動的通孔。
3、根據權利要求2所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述通孔上還加裝有一螺釘。
4、根據權利要求2所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述通孔邊緣設有防水孔。
5、根據權利要求1所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述轉動裝置為設置于底座中心的轉動軸，以及可與所述轉動軸配合的傳動帶或傳動齒輪。
6、根據權利要求1所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述凸墊的面積為0.01～4cm2。
7、根據權利要求1所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述安裝架為“十”字型。
8、根據權利要求7所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述安裝架的夾持部為直角，且四個夾持部圍成矩形。
9、根據權利要求1所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述安裝架為“人”字形。
10、根據權利要求1～9中任一項所述的一種光刻版夾具，其特征在于：所述韌性材料為聚四氟乙烯。
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G03 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專門適用于此的容器；其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如通過電子束；其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜；其制備，例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜，例如用于校準或測試的特殊涂層或標記；其制備
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