[實用新型]一種可充分利用氙氣的充排氣裝置

有效

• 申請號: 200820085996.0
• 申請日: 2008-04-24
• 公開（公告）號: CN201185169Y
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發明（設計）人: 翟建躍;諸定昌;金衛國
• 申請（專利權）人: 海寧新光陽光電有限公司
• 主分類號: H01J9/385
• 分類號: H01J9/385;H01J9/395;H01K3/24
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司
• 代理人: 賈建根

1、一種氙氣充排氣裝置，它主要由一個充排氣系統組成，所述充排氣系統包括一個四通連接件以及分別與該四通連接件四個端口連接的三個閥門和一個電弧管排列管道，三個閥門分別連接抽真空裝置、沖洗氣體進口和工作氣體氙氣進口，所述電弧管排列管道上可同時放置多只待充氣的電弧管，其特征在于：本充排氣裝置還有一個可收集殘余氙氣的回收系統，該回收系統設置在電弧管排列管道的一端，由一個氣缸和閥門組成，所述閥門設置于所述電弧管排列管道與氣缸之間。

2、如權利要求1所述氙氣充排氣裝置，其特征在于：所述充排氣系統上設置了一個壓力表。

3、如權利要求1所述氙氣充排氣裝置，其特征在于：所述氣缸的容積是充排氣系統內腔容積的13倍或以上。