[實(shí)用新型]晶圓傳輸盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820055037.4
• 申請(qǐng)日: 2008-01-24
• 公開（公告）號(hào): CN201163617Y
• 公開（公告）日: 2008-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖志堅(jiān);呂秋玲;楊洪春;楊斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;B65D85/30;B65D85/86;B65D81/02
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)晶圓的存放傳輸裝置，具體地說，涉及一種晶圓傳輸盒。

背景技術(shù)

目前，半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)，晶圓的主要存放傳輸裝置有八角盒、塑料袋以及傳輸盒(shipping?box)。一個(gè)八角盒內(nèi)僅能存放一片晶圓；塑料袋可以存放一片，也可以存放多片，但是，在傳輸過程中晶圓之間彼此碰撞容易被損壞。另外，一般的傳輸盒設(shè)計(jì)為可以存放25片晶圓，且晶圓之間彼此隔開不容易發(fā)生損壞，但是，這種傳輸盒的成本比較高，如果運(yùn)輸?shù)木A少于5片，不能充分利用傳輸盒的空間，就會(huì)導(dǎo)致傳輸成本的提高，相對(duì)地導(dǎo)致晶圓的制造成本升高。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題是提供一種可安全存放傳輸晶圓的晶圓傳輸盒；進(jìn)一步地，該晶圓傳輸盒不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)晶圓的存放傳輸，也可以實(shí)現(xiàn)幾片晶圓的存放傳輸，且不會(huì)造成不必要的浪費(fèi)。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種新的晶圓傳輸盒。所述傳輸盒包括盒體、盒蓋以及放置晶圓的保護(hù)盒，且一個(gè)盒體只能存放一個(gè)保護(hù)盒，一個(gè)保護(hù)盒只能存放一片晶圓；其中盒體上部和盒蓋下部分別設(shè)有可以相互配合的連接部；傳輸晶圓時(shí)，將晶圓放入保護(hù)盒內(nèi)，保護(hù)盒放入盒體內(nèi)，然后通過盒體上部和盒蓋下部的連接部配合將盒蓋安裝于盒體上。

所述傳輸盒還可以進(jìn)一步包括至少兩個(gè)所述盒體，每一盒體下部還設(shè)有可以與其他盒體上部的連接部配合的連接部，至少兩片晶圓傳輸時(shí)，所述盒體通過上部和下部的連接部垂直安裝在一起，所述盒蓋安裝在最上面的盒體上。

本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸盒，通過保護(hù)盒保護(hù)，避免了晶圓與盒體內(nèi)壁的碰撞，提高了安全性；如果需要傳輸多片晶圓，只需增加對(duì)應(yīng)數(shù)量的盒體就可以實(shí)現(xiàn)，結(jié)構(gòu)簡單，且成本較低；晶圓彼此隔開，安全性也較高。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中晶圓傳輸盒的立體示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中晶圓傳輸盒的保護(hù)盒放入盒體后的示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中晶圓傳輸盒的兩個(gè)盒體安裝在一起的示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的其中一實(shí)施例進(jìn)行描述，以進(jìn)一步理解本實(shí)用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。

請(qǐng)參閱圖1和圖2，本實(shí)用新型提供了一種用于存放、傳輸晶圓的晶圓傳輸盒1。該傳輸盒1由盒體10、盒蓋11以及保護(hù)盒12組成。所述盒蓋11包括桶形本體110以及固定在本體110側(cè)壁上的手柄111。所述盒體10包括存放晶圓的桶形本體100。其中兩桶形本體100、110分別具有可以相互配合固定的結(jié)合部(未圖示)，所述結(jié)合部可以采用螺紋配合的方法固定，也可以采用其他可以使用的配合方法。本實(shí)施例中盒體10的結(jié)合部為外螺紋部，盒蓋11的結(jié)合部為內(nèi)螺紋部。所述保護(hù)盒12具有一個(gè)可放置晶圓的腔體，其具有前后分別與外界相通的形成兩開口。其中前開口120大于晶圓的直徑，便于放入和取出晶圓；后開口(未標(biāo)示)小于晶圓的直徑，在晶圓傳輸過程中，可有效防止晶圓露出保護(hù)盒12，與盒體10內(nèi)部碰撞，起到保護(hù)的作用。另外，所述保護(hù)盒12前開口處設(shè)有兩個(gè)橫向延伸的固定腳121，后開口處設(shè)有兩個(gè)自保護(hù)盒12后端面向后延伸(縱向延伸)的固定腳122。當(dāng)保護(hù)盒12放入盒體10內(nèi)后，所述固定腳剛好與桶形本體100的內(nèi)壁接觸，這樣在運(yùn)輸過程中，避免所述保護(hù)盒12在盒體10內(nèi)晃動(dòng)。

使用時(shí)，首先將晶圓從保護(hù)盒12的前開口放入其腔體內(nèi)，然后采用真空吸取裝置從常規(guī)傳輸盒內(nèi)將保護(hù)盒12放入晶圓傳輸盒1的盒體10內(nèi)。然后，通過上述內(nèi)螺紋部和外螺紋部配合，將盒蓋11安裝在盒體10上。這樣，工作人員握住手柄111就可以將該片晶圓運(yùn)輸至晶圓廠的任何一個(gè)地方，不僅方便，而且成本低。有保護(hù)盒12的保護(hù)，晶圓可以安全地運(yùn)輸至任何地方。

另外，為了傳輸多片晶圓，該傳輸盒1進(jìn)一步包括上述若干個(gè)盒體10，請(qǐng)進(jìn)一步結(jié)合圖3，所述盒體10除了頭部的外螺紋部，還在底部設(shè)有可以與其他盒體10相配合的內(nèi)螺紋部。每個(gè)盒體內(nèi)放置一個(gè)保護(hù)盒12。使用時(shí)，通過螺紋連接，將若干個(gè)盒體10垂直連接起來，最上面的盒體10與盒蓋11配合，實(shí)現(xiàn)同時(shí)傳輸多片晶圓。每個(gè)盒體10內(nèi)的晶圓相互隔離，不會(huì)發(fā)生碰撞，安全性較高。采用本實(shí)用新型的晶圓傳輸盒既可以傳輸一片晶圓，也可以安全地傳輸多片晶圓，成本較低。

上述描述，僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型的任何限定，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)上述揭示內(nèi)容進(jìn)行簡單修改、添加、變換，且均屬于權(quán)利要求書中保護(hù)的內(nèi)容。