[實用新型]一種工業檢測裝置

有效

• 申請號: 200820045502.6
• 申請日: 2008-03-26
• 公開（公告）號: CN201170772Y
• 公開（公告）日: 2008-12-24
• 發明（設計）人: 鄔紀澤;李偉;鄧釗;沈大剛;蒲常華;肖浩;何宇
• 申請（專利權）人: 廣州中國科學院工業技術研究院;中國科學院沈陽自動化研究所
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89;G01N21/01
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 曾旻輝

1、一種工業檢測裝置，包括：

支架臺(1)；

固定在所述支架臺(1)上的支撐件(2)；

通過調焦機構(3，4)連接到所述支撐件(2)上部、可沿著所述支撐件(2)上下移動的光學物鏡(6)；

位于光學物鏡(6)下方的載物臺(30)；

其特征在于，所述工業檢測裝置還包括安裝在支架臺(1)和所述載物臺(30)之間的橫搖機構、縱搖機構以及控制電路，其中：

所述橫搖機構包括橫搖支架(12)、橫搖軸(13)以及橫搖電機(17)，橫搖支架(12)安裝在支架臺(1)上，橫搖軸(13)的兩端通過滾珠軸承座安裝到橫搖支架(12)，橫搖軸(13)的軸向與光學物鏡(6)的光軸方向空間垂直，橫搖電機(17)安裝到橫搖支架(12)，其輸出軸與橫搖軸(13)連接用于驅動橫搖軸(13)；

所述縱搖機構包括縱搖支架(22)、縱搖軸(23)以及縱搖電機(27)，縱搖支架(22)安裝在所述橫搖軸(13)上可隨橫搖軸(13)轉動，縱搖軸(23)的兩端通過滾珠軸承座(24)安裝到縱搖支架(22)，縱搖軸(23)與橫搖軸(13)空間垂直，縱搖電機(27)安裝到縱搖支架(22)，其輸出軸與縱搖軸(23)連接用于驅動縱搖軸(23)；

所述控制電路與橫搖電機(17)、縱搖電機(27)電連接用于控制和驅動橫搖電機(17)和縱搖電機(27)；

所述載物臺(30)安裝在所述縱搖軸(23)上可隨縱搖軸(23)轉動。

2、根據權利要求1所述的工業檢測裝置，其特征在于，所述工業檢測裝置還包括：

安裝到橫搖支架(12)的橫搖編碼器(19)，其輸入軸通過聯軸節與橫搖軸(13)的端部同軸連接；

安裝到縱搖支架(22)的縱搖編碼器(29)，其輸入軸通過聯軸節與縱搖軸(23)的端部同軸連接；

與橫搖編碼器(19)和縱搖編碼器(29)電連接的編碼器控制電路。

3、根據權利要求2所述的工業檢測裝置，其特征在于：

所述橫搖電機(17)和所述橫搖編碼器(19)位于所述橫搖軸(13)的兩端，橫搖軸(13)的遠離橫搖編碼器(19)的端部通過聯軸節與所述橫搖電機(17)的輸出軸同軸連接；

所述縱搖電機(27)和所述縱搖編碼器(29)位于所述縱搖軸(23)的兩端，縱搖軸(23)的遠離縱搖編碼器(29)的端部通過聯軸節與所述縱搖電機(27)的輸出軸同軸連接。

4、根據權利要求3所述的工業檢測裝置，其特征在于，所述載物臺(30)設置有用于夾持被檢測物的夾持件或者設置有用于吸附金屬被檢測物的強磁性材料。

5、根據權利要求3所述的工業檢測裝置，其特征在于，所述工業檢測裝置還包括真空泵，所述真空泵與所述載物臺(30)連接以吸附被檢測物。

6、根據權利要求3所述的工業檢測裝置，其特征在于，所述光學物鏡(6)上部連接成像設備(5)。

7、根據權利要求6所述的工業檢測裝置，其特征在于，所述工業檢測裝置還包括碗狀光源(7)，所述碗狀光源設置在光學物鏡(6)的下端，光學物鏡(6)位于所述碗狀光源(7)中心。

8、根據權利要求1至7中任意一項所述的工業檢測裝置，其特征在于，所述工業檢測裝置還包括安裝在所述支架臺(1)和所述橫搖支架(12)之間的經緯調節臺(8)，所述經緯調節臺(8)包括用于將所述載物臺(30)移到或者移出所述光學物鏡的正下方的經向調節旋鈕(9)和緯向調節旋鈕(10)。

9、根據權利要求8所述的工業檢測裝置，其特征在于，所述工業檢測裝置還包括安裝在經緯調節臺(8)與所述橫搖支架(12)之間的轉臺(11)，所述轉臺(11)位于所述載物臺(30)的正下方，轉臺(11)的旋轉面與所述光學物鏡(6)的光軸方向空間垂直。

10、根據權利要求8所述的工業檢測裝置，其特征在于，所述工業檢測裝置還包括用于切換光學物鏡的鏡頭轉盤，所述鏡頭轉盤一端通過所述調焦機構(3，4)連接到所述支撐件(2)的上部，另一端連接多個光學物鏡。