[實用新型]涂膠、顯影單元的方便維修結構

有效

• 申請號: 200820015387.8
• 申請日: 2008-09-03
• 公開（公告）號: CN201262684Y
• 公開（公告）日: 2009-06-24
• 發明（設計）人: 魏猛
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/26;H01L21/00;H01L21/027
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司
• 代理人: 張志偉

技術領域

本實用新型涉及涂膠、顯影單元的改進技術，具體為一種用以在半導體晶片上進行涂膠、顯影的涂膠單元及顯影單元的方便維修結構。

背景技術

目前，市場上相關半導體設備的涂膠、顯影單元都是固定在機架上的，當單元發生故障需要維修或更換時，需要人工將整體單元從狹小的空間搬出進行維修，單元整體重量要超過30公斤，即笨重又不方便，容易造成部件的局部劃傷，從而產生機械塵粒，不利于涂膠、顯影工藝過程。

隨著市場的需求相關設備需要更新換代，合理簡單的結構不僅能夠降低成本，節省時間，而且能夠降低勞動強度。如今半導體設備已經發展到一定程度，半導體廠商對設備產能的要求仍是居高不下。那么，追求單元結構的精簡化，節約設備維修時間也是很重要的。

實用新型內容

為了克服上述的不足，本實用新型的目的在于提供一種涂膠、顯影單元的方便維修結構，解決涂膠、顯影單元維修或更換時存在的笨重又不方便，容易造成部件的局部劃傷，從而產生機械塵粒，不利于涂膠、顯影工藝過程等問題。采用本實用新型可以縮短工藝單元故障的維修時間，可以為保證設備的正常產能爭取時間。

本實用新型的技術方案是：

一種涂膠、顯影單元的方便維修結構，涂膠或顯影單元的基座置于安裝板上，基座底部安裝凸輪隨動器，安裝板上開有與凸輪隨動器配合的凹槽。

所述的涂膠、顯影單元的方便維修結構，四個凸輪隨動器分兩側對稱安裝于涂膠或顯影單元的基座底部，安裝板上開有與凸輪隨動器配合的兩條直線凹槽，凸輪隨動器分別落在兩條凹槽內，凹槽作為凸輪隨動器前后滾動的軌道。

所述的涂膠、顯影單元的方便維修結構，凹槽內側設有對凸輪隨動器平穩直線滾動的尺寸限位，使凹槽的內側以尺寸對凸輪隨動器進行軸向定位。

所述的涂膠、顯影單元的方便維修結構，凸輪隨動器通過螺母及配套的螺栓與基座緊固連接。

本實用新型的優點及有益效果是：

1、本實用新型的底座下部安裝凸輪隨動器，在與底座接合的機架安裝板上開有與凸輪隨動器滾動相配合的凹槽。當單元發生故障需要進行維修或更換時，便可以拆除單元與機架的固定螺栓，借助凸輪隨動器的滾動作用將單元整體沿直線凹槽向外拉出。本實用新型改變了以往傳統的單元安裝方式，借助凸輪隨動器的滾動來方便設備單元的維修并減少維修時產生塵粒，可以實現對涂膠(顯影)單元的方便、快捷的維修與及時更換，即插即用、清潔靈活。

2、本實用新型安裝板的兩條凹槽內側設有對凸輪平穩直線滾動的尺寸限位。

3、本實用新型使涂膠、顯影單元模塊的維修更加方便、快捷、靈活。

4、本實用新型的結構簡單，便于裝配，減少設備維修時間，為保證、提高設備產能提供良好條件。

附圖說明

圖1-圖2是本實用新型不同角度的三維結構示意圖。

圖中，1、基座；2、凸輪隨動器；3、安裝板；4、螺母；A、B為安裝板的兩條凹槽。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作詳細描述。

如圖1-圖2所示，本實用新型涂膠、顯影單元的方便維修結構主要由以下幾部分組成：基座1一個、凸輪隨動器2四個、安裝板3一個、螺母4四個。具體結構如下：

涂膠或顯影單元的基座1置于安裝板3上，基座1底部安裝凸輪隨動器2，安裝板3上開有與凸輪隨動器2配合的凹槽。本實施例中，四個凸輪隨動器2(每側兩個)分兩側對稱安裝于涂膠(顯影)單元的基座1底部，凸輪隨動器2用螺母4及配套的螺栓與基座1緊固連接，安裝板3上開有與凸輪隨動器2配合的兩條直線凹槽A、B，凸輪隨動器2分別落在兩條凹槽A、B內，凹槽A、B作為凸輪隨動器2前后滾動的軌道；凹槽內側設有對凸輪隨動器2平穩直線滾動的尺寸限位，使凹槽A、B的內側以尺寸對凸輪隨動器2進行軸向定位(定位是準確確定該單元在基板1上的前后位置，限位是限制該單元在基板1上的左右活動范圍)。凸輪隨動器2在與之接合的機架安裝板3上可以在相配合的凹槽內前后滾動。本實用新型中，凸輪隨動器2的材料為不銹鋼1Cr18Ni9Ti。

當涂膠(顯影)單元發生故障需要維修或更換時，便可以拆除整體單元的固定螺栓，就可以通過凸輪隨動器2在安裝板3上的凹槽A、B內的滾動作用，而將整個涂膠(顯影)單元沿直線凹槽平穩的向外拉出，從而在需要時，可以快捷、靈活的實現涂膠、顯影單元的快捷維修與及時更換。

通過以上對涂膠(顯影)單元的機座在安裝板上自由滾動的具體介紹，說明了本實用新型結構設計與傳統結構的根本差異。