[實用新型]涂膠、顯影單元的方便維修結構有效
| 申請號： | 200820015387.8 | 申請日： | 2008-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN201262684Y | 公開（公告）日： | 2009-06-24 |
| 發明（設計）人： | 魏猛 | 申請（專利權）人： | 沈陽芯源微電子設備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/26;H01L21/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 | 代理人： | 張志偉 |
| 地址： | 110168遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 涂膠 顯影 單元 方便 維修 結構 | ||
【權利要求書】：
1、一種涂膠、顯影單元的方便維修結構，其特征在于：涂膠或顯影單元的基座(1)置于安裝板(3)上，基座(1)底部安裝凸輪隨動器(2)，安裝板(3)上開有與凸輪隨動器(2)配合的凹槽。
2、按照權利要求1所述的涂膠、顯影單元的方便維修結構，其特征在于：四個凸輪隨動器(2)分兩側對稱安裝于涂膠或顯影單元的基座(1)底部，安裝板(3)上開有與凸輪隨動器(2)配合的兩條直線凹槽，凸輪隨動器(2)分別落在兩條凹槽內，凹槽作為凸輪隨動器(2)前后滾動的軌道。
3、按照權利要求1所述的涂膠、顯影單元的方便維修結構，其特征在于：凹槽內側設有對凸輪隨動器(2)平穩直線滾動的尺寸限位，使凹槽的內側以尺寸對凸輪隨動器(2)進行軸向定位。
4、按照權利要求1所述的涂膠、顯影單元的方便維修結構，其特征在于：凸輪隨動器(2)通過螺母(4)及配套的螺栓與基座(1)緊固連接。
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