[實用新型]一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板

無效

• 申請號: 200820011459.1
• 申請日: 2008-03-06
• 公開（公告）號: CN201158705Y
• 公開（公告）日: 2008-12-03
• 發明（設計）人: 吳向方;趙俊華;梁玉生
• 申請（專利權）人: 遼寧聚智科技發展有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50
• 代理公司: 遼寧沈陽國興專利代理有限公司
• 代理人: 張立新

1、一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，包括等離子體輸出板、電極腔體，其特征在于由下述結構構成：在電極腔體內設有勻氣障板和電極勻氣板，勻氣障板設在電極腔體上的出氣口處，出氣口與進氣管連接，射頻電纜設在進氣管上，電極勻氣板將電極腔體隔離成第一勻氣腔和第二勻氣腔。

2、根據權利要求1所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征在于所述的電極腔體后部設有電極屏蔽板。

3、根據權利要求2所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征在于所述的電極腔體與電極屏蔽板之間設有暗區絕緣板。

4、根據權利要求2或3所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征于所述的電極屏蔽板固定在電極支架上。

5、根據權利要求1所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征在于所述的第一勻氣腔高度為20-40mm，第二勻氣腔高度為2-6mm。

6、根據權利要求1所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征在于所述的電極勻氣板上設有勻氣孔，勻氣孔的直徑為0.5-1.5mm。

7、根據權利要求1所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征在于所述的出氣口設有卡套式密封連接組件，進氣管穿過卡套式密封連接組件。

8、根據權利要求7所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征在于所述的卡套式密封連接組件與接頭座連接，進氣管穿過接頭座。

9、根據權利要求8所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征在于所述的接頭座為兩個，在兩個接頭座之間設有氣路絕緣子，進氣管穿過氣路絕緣子。

10、根據權利要求9所述的一種用于等離子體增強化學氣相沉積的進氣電極板，其特征在于所述的氣路絕緣子由下述結構構成：兩端為與接頭座連接的輸氣密封管，輸氣密封管與過渡接頭連接，兩個過渡接頭之間設有絕緣陶瓷管，絕緣陶瓷管與過渡接頭用封接冒釬焊。