[發明專利]濕制程系統及濕處理方法

有效

• 申請號: 200810302230.8
• 申請日: 2008-06-19
• 公開（公告）號: CN101610641A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 楊智康;李文欽
• 申請（專利權）人: 富葵精密組件（深圳）有限公司;鴻勝科技股份有限公司
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00;H05K3/38;C23F1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種濕處理系統，其包括第一噴液裝置、第二噴液裝置及傳送裝置，所述第一噴液裝及第二噴液裝置與傳送裝置相對設置，用以噴射液體至位于傳送裝置的待處理物體，其特征在于，所述濕處理系統進一步包括固持轉向裝置，所述固持轉向裝置與傳送裝置相對設置，并位于第一噴液裝置與第二噴液裝置之間，用于固持并轉動經第一噴液裝置處理的位于傳送裝置的待處理物體，以使經轉動的待處理物體再由傳送裝置輸送至第二噴液裝置進行處理。

2.如權利要求1所述的濕處理系統，其特征在于，所述第一噴液裝置、固持轉向裝置及第二噴液裝置位于傳送裝置的同側。

3.如權利要求2所述的濕處理系統，其特征在于，所述濕處理系統進一步包括與第一噴液裝置、固持轉向裝置及第二噴液裝置相對設置的儲液槽。

4.如權利要求1所述的濕處理系統，其特征在于，所述第一噴液裝置與第二噴液裝置為蝕刻液噴液裝置。

5.如權利要求1所述的濕處理系統，其特征在于，其進一步包括控制器，所述控制器分別與第一噴液裝置、固持轉向裝置及第二噴液裝置電氣連通，用以分別控制第一噴液裝置及第二噴液裝置噴射液體以及控制固持轉向裝置固持并轉動待處理物體。

6.如權利要求1所述的濕處理系統，其特征在于，所述固持轉向裝置包括轉動伸縮部及與轉動伸縮部相連的固持部，所述固持部在轉動伸縮部的帶動下，用于固持位于傳送裝置的待處理物體并轉動。

7.如權利要求6所述的濕處理系統，其特征在于，所述固持部為吸附裝置。

8.一種使用如權利要求1所述的濕處理系統的濕處理方法，其包括以下步驟：

所述第一噴液裝置對位于傳送裝置的待處理物體進行第一次濕處理；

所述固持轉向裝置固持并轉動經第一次濕處理后位于傳送裝置的待處理物體，進而將轉動后的待處理物體再放置于傳送裝置；

所述第二噴液裝置對轉動后的位于傳送裝置的待處理物體進行第二次濕處理。

9.如權利要求8所述的濕處理方法，其特征在于，所述第一次濕處理與第二次濕處理均為蝕刻處理。

10.如權利要求9所述的濕處理方法，其特征在于，所述待處理物體具有第一圖形區與第二圖形區，所述第一圖形區具有沿第一方向延伸的直線圖形，所述第二圖形區具有沿第二方向延伸的直線圖形，當第一方向與傳送裝置的傳送方向平行時，進行第一次濕處理，所述固持轉向裝置固持經第一次濕處理后位于傳送裝置的待處理物體并轉動，以使轉動后的第二方向與傳送裝置的傳送方向平行，再進行第二次濕處理。