[發(fā)明專利]表面聲波感測器的制作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810301711.7
• 申請日: 2008-05-21
• 公開（公告）號: CN101587099A
• 公開（公告）日: 2009-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周代栩
• 申請（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: G01N29/34
• 分類號: G01N29/34;G01N29/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一表面聲波感測器制作方法，包括以下步驟：

在一壓電基材表面鍍一感測材料層；

采用紫外線基納米壓印方法在該感測材料層表面制作預(yù)定圖案；及

在鍍該感測材料層的步驟之前或在該感測材料層表面制作預(yù)定圖案之后，在 壓電基板表面的位于該感測材料層的相對兩側(cè)形成輸入叉指電極和輸出叉指 電極，得到一表面聲波感測器；

其中，采用紫外線基納米壓印方法在該感測材料層表面制作預(yù)定圖案包括步 驟：

在該感測材料層表面涂布一層有機過渡層，

在該有機過渡層的表面涂布一層壓印層，該壓印層為具有紫外固化性質(zhì) 的高分子材料或有機溶液，

提供一納米壓印模仁，該納米壓印模仁包括一基片及設(shè)置于基片表面的 多個凸起，該多個凸起組成該預(yù)定圖案，該多個凸起之間形成有空腔，

將該模仁的多個凸起對準(zhǔn)該壓印層，并向該壓印層移動，使該壓印層的 材料充滿該多個凸起之間的空腔，

利用紫外光束照射該壓印層，使壓印層固化，

脫模，移走該模仁，

除去殘留在該壓印層凹下去部分的材料及對應(yīng)于該凹下去部分的有機過 渡層，

將該有機過渡層所形成的圖案轉(zhuǎn)移至該感測材料層，及

去除該感測材料層表面的該壓印層和有機過渡層的殘余部分，得到具有預(yù)定 圖案的感測薄膜。

2.如權(quán)利要求1所述的表面聲波感測器制作方法，其特征在于，該感測材料 層為氧化鋅、鈀或二氧化錫。

3.如權(quán)利要求1所述的表面聲波感測器制作方法，其特征在于，該壓印層的 材料為紫外固化有機硅溶液。

4.如權(quán)利要求1所述的表面聲波感測器制作方法，其特征在于，將該有機過 渡層所形成的圖案轉(zhuǎn)移至該感測材料層的方法為刻蝕方法或剝離方法。