[發明專利]升降機線性馬達驅動

無效

• 申請號: 200810247088.1
• 申請日: 2008-11-12
• 公開（公告）號: CN101483145A
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: S·斯科萊
• 申請（專利權）人: 因特瓦克公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 劉佳斐;蔡勝利

1.一種用于在具有至少一個室的襯底處理系統中傳輸襯底的系統，包 括：

軌道，定位在該室中；

襯底運輸設備，安裝在該軌道之上用于傳輸該襯底；

多個磁元件，連接到該運輸設備上；

線性馬達；

多個磁導管，定位在該線性馬達和該運輸設備之間，其中該磁導管將 磁力從該線性馬達傳遞到該運輸設備，以產生磁耦合來傳輸該運輸設備。

2.如權利要求1的系統，其中該線性馬達被定位在該室的外面。

3.如權利要求2的系統，其中該磁元件中的每個包括定位在金屬塊之 上的磁體。

4.如權利要求1的系統，其中該磁導管為“L”形。

5.如權利要求1的系統，其中該磁導管為“漏斗”形。

6.如權利要求1的系統，其中該襯底處理系統包括至少兩個級別的處 理室，第一級別堆疊在第二級別的頂部上。

7.如權利要求6的系統，進一步包括能夠將該運輸設備從該處理室的 一個級別傳輸到另一個級別的升降機室。

8.如權利要求7的系統，進一步包括定位在該升降機室外面的升降機 線性馬達，其中該升降機線性馬達與該升降機室中的一系列鄰近的磁導管 對準，以便該一系列鄰近的磁導管將該運輸設備從處理室引導到該升降機 室內。

9.如權利要求8的系統，其中該一系列鄰近的磁導管進一步能夠將該 運輸設備從該升降機室引導到處理室。

10.一種在襯底處理系統中的升降機子系統，包括：

升降機室，能夠維持真空；

至少一個線性馬達，定位在該升降機室外面，其中該線性馬達產生磁 動力；

可移動的運輸設備，包括多個磁元件；

可垂直移動的升降機基底，用于垂直地移動該運輸設備；以及

多個極片，連接至該升降機基底并且將磁場從該線性馬達耦合到該磁 元件。

11.如權利要求10的升降機子系統，進一步包括一系列鄰近的極片， 該一系列鄰近的極片配置成將該運輸設備與鄰近處理室中的線性馬達分離 并將該運輸設備引導到該升降機室內。

12.如權利要求11的升降機子系統，進一步包括連接到該升降機基 底的一系列導軌，以將該運輸設備引導到該升降機室內。

13.如權利要求10的升降機子系統，其中在該運輸設備的下側之下 定位多個極片，以便通過增強該運輸設備上的重力來增強該運輸設備的穩 定性。

14.如權利要求13的升降機子系統，其中該極片被形成為“L”形， 以便當該運輸設備被耦合到在其下側上的該極片時，該線性馬達位于該升 降機室的側壁上。

15.如權利要求10的升降機子系統，其中在該線性馬達和該多個極 片之間的該升降機室的壁為薄金屬材料。

16.如權利要求15的升降機子系統，其中該壁為鋁。

17.如權利要求10的升降機子系統，其中該極片由滲透性的軟金屬 制成，以最小化該線性馬達和該極片之間的磁場損耗。

18.如權利要求17的升降機子系統，其中該極片為400系列的不銹 鋼或鐵。

19.如權利要求17的升降機的子系統，其中該磁元件中的每個包括 連接到金屬塊上的磁體。

20.一種襯底處理系統，包括：

一系列處理室；

軌道，定位在該室中的每個內；

襯底運輸設備，安裝在該軌道之上，用于在該室間傳輸該襯底；

多個磁元件，連接到該運輸設備上；

線性馬達；以及

多個磁導管，定位在該線性馬達和該運輸設備之間，其中該磁導管將 磁力從該線性馬達傳遞到該運輸設備，以產生磁耦合來傳輸該運輸設備。