[發明專利]一種校對真空設備溫度均勻性的方法

有效

• 申請號: 200810246545.5
• 申請日: 2008-12-25
• 公開（公告）號: CN101762340A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發明（設計）人: 古宏偉;屈飛;楊發強;杜風貞
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 童曉琳

技術領域

本發明屬于校對設備溫度均勻性技術領域，特別涉及一種校對真空設備溫度 均勻性的方法。

背景技術

對于加熱狀態下制備大尺寸材料而言，溫度參數的可重復性、準確性以及大 面積范圍內溫度均勻具有重要意義。通常通過在大面積范圍內改變熱電偶位置來 測量設備溫度的均勻性。但操作過程中很難保持熱電偶位置可重復，因此這種溫 度均勻性測量方法本身會不可避免的引進較大誤差。

發明內容

本發明的目的是提供一種校對真空設備溫度均勻性的方法。

一種校對真空設備溫度均勻性的方法，其特征在于，該方法步驟如下，

(1)將測溫區劃分成小區域；

(2)選擇一種金屬，制備直徑為5～10mm、厚度為0.5～1mm的標準試樣；

(3)將標準試樣放置在加熱器中待測區域內，抽真空，背底真空達到5.0×10^-3Pa 時，以20～40℃/s的升溫速率加熱，通過觀察窗觀察標準試樣狀態變化，當觀察 到標準試樣熔化時，讀取熱電偶示數T1，隨后將標準試樣冷卻；

(4)設定升溫速率，先以20～40℃/s的升溫速率升溫至T1以下30℃，然后以 1℃/s的升溫速率升溫，觀察標準試樣狀態，當標準試樣熔化時讀取熱電偶示數 T0；

(5)將標準試樣放置在劃分的其他區域內，重復步驟(4)，讀取熱電偶讀數，得 到設備溫度偏差。

所述金屬包括鋅、鋁、鉛或鑭。

本發明的有益效果為：本發明將測溫區域劃分成若干小區域，然后利用晶體 熔點固定這一晶體物理特性，分別測量每個小區域晶體標準試樣熔點的方法，提 供一種準確校對真空設備溫度均勻性的方法。

附圖說明

圖1是測溫區劃分成小區域。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明作進一步說明：

實施例1

一種校對真空設備溫度均勻性的方法，該方法步驟如下，

(1)將測溫區劃分成小區域，如圖1所示；

(2)選擇純度為99.9％的鑄態Al做為標準試樣原材料，標準試樣尺寸：直徑 為5mm、厚度為1mm；

(3)將標準試樣放置在加熱器中待測區域23內，抽真空，背底真空達到5.0× 10^-3Pa(可以避免標樣表面因氧化或氮化對試驗結果產生影響，并可以避免氣壓 變化對熔點的影響)時，以20℃/s的升溫速率加熱，通過觀察窗觀察標準試樣狀 態變化，當觀察到標準試樣熔化時，讀取熱電偶示數T1＝730℃，隨后將標準試 樣冷卻；

(4)設定升溫速率，先以20℃/s的升溫速率升溫至700℃，然后以1℃/s的升 溫速率升溫，觀察標準試樣狀態，當標準試樣熔化時讀取熱電偶示數T0＝721℃ (通過緩慢升溫避免升溫速率不同造成標樣熔化溫度不同)；

(5)將標準試樣放置在其他待測區域內，重復步驟(4)，讀取熱電偶讀數，讀數 值如表1所示，得到設備溫度偏差為5℃。

實施例2

一種校對真空設備溫度均勻性的方法，該方法步驟如下，

(1)將測溫區劃分成小區域，如圖1所示；

(2)選擇純度為99.9％的鑄態Zn做為標準試樣原材料，標準試樣尺寸：直徑 為5mm、厚度為1mm；

(3)將標準試樣放置在加熱器中待測區域23內，抽真空，背底真空達到5.0× 10^-3Pa(可以避免標樣表面因氧化或氮化對試驗結果產生影響，并可以避免氣壓 變化對熔點的影響)時，以20℃/s的升溫速率加熱，通過觀察窗觀察標準試樣狀 態變化，當觀察到標準試樣熔化時，讀取熱電偶示數T1＝488℃，隨后將標準試 樣冷卻；

(4)設定升溫速率，先以20℃/s的升溫速率升溫至458℃，然后以1℃/s的升 溫速率升溫，觀察標準試樣狀態，當標準試樣熔化時讀取熱電偶示數T0＝480℃ (通過緩慢升溫避免升溫速率不同造成標樣熔化溫度不同)；

(5)將標準試樣放置在劃分的其他待測區域內，重復步驟(4)，讀取熱電偶讀數， 讀數值如表1所示，得到設備溫度偏差為5℃。

表1檢測區域溫度讀數