[發(fā)明專利]用于自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的有效性校準(zhǔn)方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810239569.8
• 申請(qǐng)日: 2008-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN101750597A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張琳;吉國凡;石志剛;劉煒;王慧;金蘭;宋奕霖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京華大泰思特半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01R35/00
• 分類號(hào): G01R35/00
• 代理公司: 北京北新智誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 陳曦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種有效性校準(zhǔn)方法，尤其涉及一種用于集成電路測(cè)試系統(tǒng)中的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(Automatic?Test?Equipment，簡寫為ATE)的有效性校準(zhǔn)方法，屬于集成電路測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在集成電路測(cè)試中，普遍要使用自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)，即集成電路自動(dòng)測(cè)試機(jī)。集成電路自動(dòng)測(cè)試機(jī)的作用在于檢測(cè)集成電路芯片的產(chǎn)品質(zhì)量、評(píng)定產(chǎn)品性能和驗(yàn)證產(chǎn)品功能，以確保集成電路生產(chǎn)制造的品質(zhì)。

顯然，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)測(cè)量有關(guān)參數(shù)的準(zhǔn)確性、可靠性將直接影響集成電路芯片的出廠質(zhì)量，而計(jì)量校準(zhǔn)是保證自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)工作準(zhǔn)確性及有效性的重要手段。計(jì)量校準(zhǔn)是指用比被校計(jì)量器具精度高的計(jì)量器具(稱為標(biāo)準(zhǔn)器具)與被校計(jì)量器具進(jìn)行比較，以確定被校計(jì)量器具的示值誤差。

在申請(qǐng)?zhí)枮?00610003236.6的中國專利申請(qǐng)中，公開了一種自動(dòng)測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的生成和使用方法。在一個(gè)實(shí)施例中，接收對(duì)執(zhí)行自動(dòng)測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)處理的請(qǐng)求。該請(qǐng)求與一個(gè)或多個(gè)測(cè)試設(shè)置相關(guān)聯(lián)。在接收該請(qǐng)求后，標(biāo)識(shí)基于測(cè)試設(shè)置的若干校準(zhǔn)填充點(diǎn)。然后針對(duì)測(cè)試設(shè)置和校準(zhǔn)填充點(diǎn)二者生成校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。在另一實(shí)施例中，接收對(duì)使用自動(dòng)測(cè)試設(shè)備執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)經(jīng)校準(zhǔn)的測(cè)試過程的請(qǐng)求，并且結(jié)合執(zhí)行經(jīng)校準(zhǔn)的測(cè)試過程中的至少一個(gè)，從已有校準(zhǔn)數(shù)據(jù)導(dǎo)出校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。

另外，在申請(qǐng)?zhí)枮?00480007062.X的的中國專利申請(qǐng)中，公開了一種ATE校準(zhǔn)方法和系統(tǒng)。在測(cè)試系統(tǒng)中選取一個(gè)功能插針作為參考插針，并且另外選取一個(gè)功能插針作為精確測(cè)量單元(PMU)。外部測(cè)試設(shè)備和參考PMU被用來測(cè)量參考插針的AC和DC特性。測(cè)試系統(tǒng)中的所有功能插針都可以使用參考PMU相對(duì)于參考插針進(jìn)行測(cè)量。為了確保所有插針間的錯(cuò)位得到均衡，將參考插針的位置選擇在盡量靠近功能插針范圍內(nèi)的中點(diǎn)。

目前，高端自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)普遍存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、精度高，計(jì)量校準(zhǔn)方法對(duì)外保密，專用校準(zhǔn)板價(jià)格昂貴等問題。如果每年都委托廠商做一次計(jì)量校準(zhǔn)，不僅費(fèi)用較高，而且時(shí)間上也不能得到保證。因此，有必要研究操作方便、成本低廉的ATE設(shè)備有效性校準(zhǔn)解決方案。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種用于自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)的有效性校準(zhǔn)方法。利用該有效性校準(zhǔn)方法可以保證儀器設(shè)備的正常使用，使得測(cè)量數(shù)據(jù)和檢測(cè)結(jié)果具有良好的溯源性、準(zhǔn)確性和可靠性。

為實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明采用下述的技術(shù)方案：

一種用于自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的有效性校準(zhǔn)方法，其特征在于包括如下步驟：

(1)啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備，執(zhí)行自檢程序；

(2)自檢完畢之后，由外部測(cè)量設(shè)備連接測(cè)試用適配板的測(cè)量點(diǎn)，開始校準(zhǔn)工作；

(3)執(zhí)行通道特性參數(shù)測(cè)量；

(4)執(zhí)行管腳參數(shù)測(cè)量單元測(cè)量；

(5)執(zhí)行板參數(shù)測(cè)量單元測(cè)量；

(6)執(zhí)行電源測(cè)量。

其中，所述外部測(cè)量設(shè)備為數(shù)字電壓表或數(shù)字萬用表，其誤差限是被校的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的誤差限的1/3～1/10。

所述步驟(3)中，所述通道特性參數(shù)為驅(qū)動(dòng)電平VIH和VIL。

所述步驟(4)中，所述管腳參數(shù)測(cè)量單元測(cè)量包括電壓設(shè)置準(zhǔn)確度測(cè)量、電流測(cè)量準(zhǔn)確度測(cè)量、設(shè)置電流準(zhǔn)確度測(cè)量和電壓測(cè)量準(zhǔn)確度測(cè)量。

所述步驟(5)中，所述板參數(shù)測(cè)量單元測(cè)量包括電壓設(shè)置準(zhǔn)確度測(cè)量、電流設(shè)置準(zhǔn)確度測(cè)量、電壓測(cè)量準(zhǔn)確度測(cè)量、電流測(cè)量準(zhǔn)確度測(cè)量和高壓通道設(shè)置電壓準(zhǔn)確度測(cè)量。

所述步驟(6)中，將器件電源通道與標(biāo)準(zhǔn)電阻器和數(shù)字萬用表連接，由數(shù)字萬用表測(cè)量電壓并與器件電源的設(shè)置電壓進(jìn)行比較。

本發(fā)明所提供的ATE測(cè)量有效性校準(zhǔn)方法可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)的自動(dòng)化整體原位校準(zhǔn)，從而確保自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)的測(cè)試質(zhì)量和有效使用，并保證所有校準(zhǔn)的指標(biāo)和參數(shù)能夠溯源到國家標(biāo)準(zhǔn)。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。

圖1為用于實(shí)施本ATE測(cè)量有效性校準(zhǔn)方法的硬件平臺(tái)示例圖；

圖2為本ATE測(cè)量有效性校準(zhǔn)方法的具體實(shí)施步驟示意圖。

具體實(shí)施方式

用于集成電路測(cè)試的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)作為一種計(jì)算機(jī)智能化綜合參數(shù)儀器系統(tǒng)，在測(cè)試的靈活性及數(shù)據(jù)處理能力方面存在優(yōu)勢(shì)，而在某一時(shí)刻的某一參數(shù)測(cè)試中同單機(jī)測(cè)試并沒有太大的差別，因此，可以將其分解成各個(gè)單項(xiàng)參數(shù)測(cè)試儀進(jìn)行有效性校準(zhǔn)。