[發明專利]用于自動測試設備的有效性校準方法無效
| 申請號: | 200810239569.8 | 申請日: | 2008-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN101750597A | 公開(公告)日: | 2010-06-23 |
| 發明(設計)人: | 張琳;吉國凡;石志剛;劉煒;王慧;金蘭;宋奕霖 | 申請(專利權)人: | 北京華大泰思特半導體檢測技術有限公司 |
| 主分類號: | G01R35/00 | 分類號: | G01R35/00 |
| 代理公司: | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人: | 陳曦 |
| 地址: | 100088 北京市海*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 自動 測試 設備 有效性 校準 方法 | ||
1.一種用于自動測試設備的有效性校準方法,其特征在于包括如下步驟:
(1)啟動自動測試設備,執行自檢程序;
(2)自檢完畢之后,由外部測量設備連接測試用適配板的測量點,開始校準工作;
(3)執行通道特性參數測量;
(4)執行管腳參數測量單元測量;
(5)執行板參數測量單元測量;
(6)執行電源測量。
2.如權利要求1所述的有效性校準方法,其特征在于:
所述外部測量設備的誤差限是被校的自動測試設備的誤差限的1/3~1/10。
3.如權利要求2所述的有效性校準方法,其特征在于:
所述外部測量設備為數字電壓表或數字萬用表。
4.如權利要求1所述的有效性校準方法,其特征在于:
所述步驟(3)中,所述通道特性參數為驅動電平VIH和VIL。
5.如權利要求1所述的有效性校準方法,其特征在于:
所述步驟(4)中,所述管腳參數測量單元測量包括電壓設置準確度測量、電流測量準確度測量、設置電流準確度測量和電壓測量準確度測量。
6.如權利要求1所述的有效性校準方法,其特征在于:
所述步驟(5)中,所述板參數測量單元測量包括電壓設置準確度測量、電流設置準確度測量、電壓測量準確度測量、電流測量準確度測量和高壓通道設置電壓準確度測量。
7.如權利要求1或3所述的有效性校準方法,其特征在于:
所述步驟(6)中,將器件電源通道與標準電阻器和數字萬用表連接,由數字萬用表測量電壓并與器件電源的設置電壓進行比較。
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