[發明專利]一種減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝

無效

• 申請號: 200810232738.5
• 申請日: 2008-12-09
• 公開（公告）號: CN101440492A
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發明（設計）人: 王宗林;鄭建博
• 申請（專利權）人: 彩虹集團電子股份有限公司
• 主分類號: C23F1/02
• 分類號: C23F1/02;C23F1/04
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 朱海臨

1、一種減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝，其特征在于：包括 下述步驟：

(1)制版：用CAD制圖，采用光繪機制作玻璃工作版或菲林膠片版， 制版按A＝T/3計算，其中A為腐蝕余量，T為原材料厚度；

(2)備料：將鋼帶卷安裝到放卷架上，或用剪板機將卷材切成單塊板材；

(3)除油：對鋼帶或單塊板材用清洗劑進行除油，再經過工業水及純水 進行清洗干燥；

(4)感光材料涂敷：對經過除油的鋼帶用PVA感光膠涂敷，而后進入干 燥爐進行烘干；對除油后的單塊板材用絲網涂敷感光性抗蝕油墨，一面涂墨 完成后在紅外烘干機中烘干后再對另一面用同樣的工藝進行涂墨、烘干；

(5)曝光：將經過感光膠涂敷和烘干的鋼帶夾在玻璃工作版中進行紫外 線雙面曝光，或將已烘干的油墨單塊板材夾在菲林膠片版中間進行紫外線雙 面曝光；

(6)顯影：用純水對經過曝光的鋼帶進行顯影；或用Na₂CO₃溶液作為顯 影液，對單塊板材進行顯影，將未被曝光的部分顯影掉，保留曝過光的圖形；

(7)固化：顯影過的鋼帶經過鉻酸溶液堅膜，而后經過氣割和固化爐固 化；或將顯影后的單塊板材在烘箱中加熱固化；

(8)蝕刻：經過固化的鋼帶或單塊板材進入腐蝕室在FeCl₃溶液中進行 蝕刻，或采用蝕刻機噴淋FeCl₃溶液蝕刻；

(9)剝膜：經過蝕刻的鋼帶在60～110℃的NaOH溶液中進行剝膜處理； 或將經過蝕刻的單塊板材放入90℃±10℃的NaOH溶液進行剝膜處理；

(10)清洗烘干：鋼帶在剝膜處理后，依次經過水洗、中和、再水洗、 純水洗后烘干；單塊板材剝膜處理后，用清水、純水清洗后烘干。

2.如權利要求1所述減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝，其特 征在于，所述步驟(4)中，PVA感光膠涂敷厚度控制在5.0～10.0μm。

3.如權利要求1所述減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝，其特 征在于，所述步驟(5)中，曝光時間：鋼帶為30～50s；單塊板材為3～8s。

4.如權利要求1所述減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝，其特 征在于，所述步驟(6)中，鋼帶顯影溫度為20～50℃，顯影壓力為0.05～ 0.20Mpa；單塊板材顯影溫度45℃±5℃，顯影壓力0.25±0.05Mpa；顯影液 Na₂CO₃溶液的濃度為2.0～5.0％。

5.如權利要求1所述減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝，其特 征在于，所述步驟(7)中，鉻酸溶液的濃度為1.60±0.50％。

6.如權利要求1所述減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝，其特 征在于，所述步驟(8)中，FeCl₃溶液的疲勞度為5～15％、游離酸濃度為 1.5～2.5％、波美為48.0±5.0Be′，腐蝕溫度為40～55℃，腐蝕壓力為0.20～ 0.50Mpa。

7.如權利要求1或6所述減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝， 其特征在于，所述用蝕刻機噴淋蝕刻經過八個噴淋室，每個噴淋室泵的壓力 均為0.20～0.40Mpa。

8.如權利要求1所述減小腐蝕余量的柵網類金屬件蝕刻生產工藝，其特 征在于，所述步驟(9)中，NaOH溶液的濃度為10～20％。