[發(fā)明專利]一種無鉛壓電鈮酸鉀鈉薄膜的制備方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810231773.5 | 申請(qǐng)日: | 2008-10-16 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101386426A | 公開(公告)日: | 2009-03-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 任巍;閻鑫;吳小清;王玲艷;史鵬;陳曉峰;姚熹 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號(hào): | C01G33/00 | 分類號(hào): | C01G33/00 |
| 代理公司: | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 惠文軒 |
| 地址: | 710049*** | 國(guó)省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 壓電 鈮酸鉀鈉 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種無鉛壓電材料鈮酸鉀鈉薄膜的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
1)按摩爾比1:10~1:20分別稱量無水五氯化鈮NbCl5和無水乙醇,以無水苯為反應(yīng)溶劑,通入氨氣3~4小時(shí),抽濾沉淀NH4Cl,將濾液用苯進(jìn)行洗滌,常壓蒸餾除去苯和過量的無水乙醇,得到乙醇鈮溶液;
2)按照鈮酸鉀鈉Na0.5K0.5NbO3中鉀、鈉與鈮的摩爾比0.5:0.5:1,首先稱取無水乙酸鈉和無水乙酸鉀,并溶于乙酸溶液中,獲得含鉀鈉混合溶液;其次稱取乙醇鈮溶液,溶于乙二醇甲醚溶液中,獲得含鈮溶液;將上述得到的含鉀鈉混合溶液與含鈮溶液進(jìn)行混合,加熱到100℃,攪拌30分鐘,得到鈮酸鉀鈉溶膠,作為前驅(qū)液備用;
3)將前驅(qū)液過濾后,在密封的條件下陳化24小時(shí),采用旋轉(zhuǎn)成膜法制備薄膜,即:依次在2500~3500轉(zhuǎn)/分的轉(zhuǎn)速下甩膠30~40秒,在200℃溫度下干燥,在350℃~450℃溫度下預(yù)處理3分鐘,在550℃~650℃溫度下進(jìn)行結(jié)晶退火處理3~5分鐘;重復(fù)上述甩膜、干燥、預(yù)處理、結(jié)晶退火處理過程3~4次,得到無鉛壓電鈮酸鉀鈉薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無鉛壓電材料鈮酸鉀鈉薄膜的制備方法,其特征在于,所述前驅(qū)液的濃度為0.3~0.5M。
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